Архив статей журнала

Исследование возможности применения нейронных сетей при определении дефектов полупроводниковых материалов по изображениям растровой электронной микроскопии (2024)
Выпуск: № 2 (2024)
Авторы: Малыгин Владислав Анатольевич, Попов Виктор, Баженов Константин Эдуардович, Засядко Татьяна Алексеевна

Исследование посвящено разработке способа обнаружения дефектов в полупроводниковом производстве с помощью нейронных сетей по изображениям , полученным при помощи растрового электронного микроскопа. Проведено исследование метода, позволяющего сократить время обработки полученных изображений при поиске дефектов.

Сохранить в закладках