Статья: Характеристики МОП-конденсаторов, сформированных осаждением слоев диэлектрика ZrO2:Y2O3 на гетероструктурах Ge/Si(001), выращенных методом HW CVD (2024)

Читать онлайн

Исследованы вольт-амперные характеристики (ВАХ) и вольт-фарадные характеристики (ВФХ) МОП-конденсаторов, сформированные последовательным осаждением тонких слоев затворного диэлектрика ZrO2:Y2O3 и Ti-Pd-Au затворного электрода на гетероэпитаксиальных структурах Ge/Si(001), выращенные низкотемпературным (Ts = 350 C)
методом газофазного осаждения с пиролизом моногермана на «горячей нити» (англ. HotWireChemicalVaporDeposition (HWCVD)). Высокое структурное совершенство гетероструктур Ge/Si(001) (плотность дислокаций, отождествленная с плотностью ямок
травления, составляла 1105 см-2), и высокая гладкость поверхности слоя Ge(rms = 0,37 нм) давали предпосылку для последующего формирования МОП-конденсаторов с высокими электрическими параметрами. Использование тонких слоев ZrO2:Y2O3 c 4-х
процентным содержанием Y2O3 и прошедших дополнительный отжиг, позволяет снизить токи утечки до 510-5 А/см2 при V = -1 В. Плотность поверхностных состояний на границе диэлектрик-полупроводник, определенная из ВФХ МОП-конденсатора, составля-
ла 41012 см-2эВ-1, что открывает перспективы для использования таких гетероструктур при изготовлении МДП-транзисторов.

Автор (ы): Титова Анастасия Михайловна (Titova A. M.), Алябина Наталья Алексеевна, Денисов Сергей Александрович, Чалков Вадим Юрьевич, Шенгуров Владимир Геннадьевич, Нежданов Алексей Владимирович, Здоровейшев Антон Владимирович, Архипова Екатерина Александровна, Бузынин Юрий Николаевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.533.3. Электронная оптика
Для цитирования:
ТИТОВА А. М., АЛЯБИНА Н. А., ДЕНИСОВ С. А., ЧАЛКОВ В. Ю., ШЕНГУРОВ В. Г., НЕЖДАНОВ А. В., ЗДОРОВЕЙШЕВ А. В., АРХИПОВА Е. А., БУЗЫНИН Ю. Н. ХАРАКТЕРИСТИКИ МОП-КОНДЕНСАТОРОВ, СФОРМИРОВАННЫХ ОСАЖДЕНИЕМ СЛОЕВ ДИЭЛЕКТРИКА ZRO2:Y2O3 НА ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ GE/SI(001), ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ HW CVD // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2024. № 1
Моя история просмотров (10)