Влияние температуры подложки на параметры пленок оксида алюминия при электронно-лучевом испарении алюминия в атмосфере кислорода (2024)

Приведены экспериментальные результаты измерения параметров пленок оксида алюминия, осажденных электронно-лучевым испарением алюминия в кислороде при разных температурах подложки. Показано, что характер влияния температуры определяется соотношением давления кислорода и скорости осаждения пленки.

Тип: Статья
Автор (ы): Бурдовицин Виктор
Соавтор (ы): Карпов Кирилл, Окс Ефим, Нгон А Кики Лионель Жоэль

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.563. Способы ионизации газов