Поглощение ИК-излучения в диффузионных слоях структур на основе кремния (2023)

Приведены экспериментальные зависимости спектров пропускания в кремниевых об-разцах с диффузионными слоями от поверхностного сопротивления слоев и длины волны излучения. Показано, что величина пропускания длинноволнового излучения в кремниевых структурах удовлетворительно согласуется с расчетом для поглощения на свободных носителях в диффузионных слоях при учете сильной зависимости по-движности носителей от концентрации легирующей примеси.

The experimental data on transmissivity of heavily doped diffusion layers as function of there sheet resistance and wavelength of radiation with accounting free carrier absorbtion in in dif-fused layers are given. Its gives requirements to this layers parameters for reduce this effect on transmissivity. It is shown also, that silicon structure transmissivity data over 1.25 microns wavelength agree with theoretical results with accounting strong dependent free carrier mo-bilities on concentration doping impurities.

Тип: Статья
Автор (ы): Конорев Дмитрий Сергеевич
Соавтор (ы): Климанов Евгений, Давлетшин Ренат Валиевич, Макарова Элина Алексеевна

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.383.52. Фотодиоды
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-6-41-44
Текстовый фрагмент статьи