Исследование чувствительности тонких пленок ITO к адсорбированным на их поверхности химическим веществам (2023)

Приведены результаты исследований чувствительности тонких пленок из оксидов индия-олова (ITO) к адсорбированным на их поверхности углеводородам различных концентраций. Показано, что тонкие низкоомные пленки ITO могут многократно ис-пользоваться в качестве детекторов газов, а их чувствительность на детектируемые газы практически не зависит от температуры нагрева структуры. Обнаружено, что дополнительное облучение газовых сенсоров на основе пленок ITO УФ-излучением спо-собствует значительному повышению их чувствительности к адсорбирующимся ве-ществам.

The paper presents the results of studies of the sensitivity of ITO thin films to the adsorption of hydrocarbons of various concentrations on their surface. It is shown that thin low-resistance ITO films can be repeatedly used as gas detectors, and their sensitivity to detected gases is practically independent of the heating temperature of the structure. It has been found that ad-ditional exposure of gas sensors based on ITO films to UV radiation contributes to a significant increase in their sensitivity to adsorbed substances.

Тип: Статья
Автор (ы): Жидик Юрий
Соавтор (ы): Жук Клавдия, Иванова Анна, Мостовщиков Андрей, Майкова Анастасия Владимировна1, Кузьмин Александр Сергеевич

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.233. путем поверхностного поглощения (адсорбции)
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-6-72-77
Текстовый фрагмент статьи