Расчет толщины металлической пленки по ее оптическим параметрам в процессе напыления (2023)

На основе метода поверхностного плазмонного резонанса разработана методика из-
мерения толщины растущей металлической пленки порядка 0,1 мкм. В работе при-
менен метод численного моделирования и создание на его основе в среде LabView про-
граммы управления для контроля процесса роста металлической пленки по ее
оптическим параметрам. Показано, что метод является пригодным для его применения
при управлении процессом получения пленок с повторяющимися оптическими свой-
ствами. Возбуждая на поверхности пленки плазмон поляритонные волны и регистрируя
резонансное взаимодействие поверхностных плазмонов с поверхностной электромаг-
нитной волной, получают отклик в виде оптического сигнала. Анализ характеристик
резонансного отклика дает возможность корректировать ход процесса напыления

Based on the surface plasmon resonance method, a technique for measuring the thickness of a
growing metal film has been developed. The work uses a numerical modeling method and the
creation on its basis in the LabView environment of a control program to control the growth
process of a metal film based on its optical parameters. It is shown that the method is suitable
for use in controlling the process of producing films with repeatable optical properties. By ex-
citing plasmon polariton waves on the surface of the film and recording the resonant interac-
tion of surface plasmons with a surface electromagnetic wave, a response is obtained in the
form of an optical signal. Analysis of the characteristics of the resonant response makes it pos-
sible to correct the course of the deposition process film

Тип: Статья
Автор (ы): Кононов Михаил
Соавтор (ы): Растопов Станислав

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.8. Применение оптики в целом
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-6-66-71
Текстовый фрагмент статьи