Травление внутренней поверхности металлической трубки в разряде, поддерживаемым электронным пучком (2023)

Приведены экспериментальные результаты измерения скорости травления внутрен-ней стенки металлической трубки при наличии в трубке разряда, поддерживаемого инжектируемым электронным пучком. При токах разряда 50–200 мА скорость трав-ления повышается в интервале 10–30 нм/мин.

Experimental results are presented for measuring the etching rate of the inner wall of a metal tube in the presence of a discharge in the tube supported by an injected electron beam.

Тип: Статья
Автор (ы): Бурдовицин Виктор
Соавтор (ы): Карпов Кирилл, Окс Ефим, Нгон А Кики Лионель Жоэль

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.563. Способы ионизации газов
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-6-23-27
Текстовый фрагмент статьи