Исследование профиля краевой металлизации оптически прозрачных окон, формируемого методом магнетронного напыления (2023)

Исследуется процесс формирования краевой металлизации на входных окнах (германиевых, кремниевых и других дисках), используемых для ввода принимаемого светового потока фотоприемником, находящимся в защитном герметичном корпусе. В работе представлены результаты экспериментального исследования зависимости профиля краевой металлизации Ge дисков, формируемого магнетронным напылением, от конструктивных параметров загрузочного устройства. Представлены варианты конструкций загрузочных устройств. Экспериментально показано влияние толщины на профили краевой металлизации элементов конструкции загрузоч-ного устройства, маскирующих диски при напылении.

The paper examines the process of formation of edge metallization on input windows (germanium, silicon and other disks) used to input the received light flux by a photodetec-tor located in a protective sealed housing. The article presents the results of an experi-mental study of the dependence of the edge metallization profile of Ge disks formed by magnetron sputtering on the design parameters of the loading device. Design options for loading devices are presented. The influence of thickness on the profiles of edge metalliza-tion of structural elements of the loading device, masking the disks during deposition, has been experimentally shown.

Тип: Статья
Автор (ы): Трухачев Антон Владимирович
Соавтор (ы): Болтарь Константин, Мансветов Николай Георгиевич, Седнев Михаил Васильевич, Трухачева Наталия Сергеевна, Зубкова Елена Николаевна, Прахов Никита Викторович

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.315.59. Проводники с особо высоким сопротивлением. Полупроводники
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2023-11-6-522-529