Статья: Фотоприёмное устройство на основе матрицы nBn фотодиодов, чувствительных в спектральном диапазоне 3–5 мкм (2020)

Читать онлайн

Представлены результаты разработки матричного фотоприёмного устройства (ФПУ) с фотоприёмником на основе nBn фотодиодов, обладающих чувствительностью в спектральном диапазоне 3–5 мкм. Структуры для изготовления nBn фотодиодов с активным слоем InAs1-хSbх и барьерным слоем AlAs1-ySby выращивались методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках GaSb. Матричный фотоприёмник имел формат 640512 элементов с шагом 20 мкм. Показано, что разработанное ФПУ может обеспечивать достижение требуемых пороговых характеристик чувствительности при повышенных рабочих температурах. Достигнутое значение эквивалентной шуму разности температур составило около 0,02 К при температуре фотоприёмника не ниже 130 К.

Results of IDDCA development based on nBn photodetector sensitive in 3–5 μm interval are presented. Photodetector array had 640512 pixels format and 20 μm pitch. Wafers for nBn diodes manufacturing were grown by molecular beam epitaxy on GaSb substrate and contained active layer InAs1-хSbх and barrier layer AlAs1-ySby. It was shown that developed IDDCA can provide achievement of desirable sensitivity at higher operating temperature. Noise equivalent temperature difference near 0.02 K was achieved at 130 K operating temperature of detector.

Ключевые фразы: ФПУ, nBn фотодиод, матричный фотоприемник, мультиплексор, корпус-криостат, микрокриогенная система, iddca, nBn photodiode, photodetector array, multiplexer, dewar, microcryogenic system
Автор (ы): Куликов Владимир Борисович
Соавтор (ы): Маслов Дмитрий Вадимович, Барабанов Антон Борисович, Сабиров Алексей Рашидович, Кацавец Николай Иванович, Чалый Виктор Петрович, Шуков Иван Викторович
Журнал: Прикладная физика

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
621.383.5. Фотоприемники с запирающим слоем
eLIBRARY ID
43807691
Для цитирования:
КУЛИКОВ В. Б., МАСЛОВ Д. В., БАРАБАНОВ А. Б., САБИРОВ А. Р., КАЦАВЕЦ Н. И., ЧАЛЫЙ В. П., ШУКОВ И. В. ФОТОПРИЁМНОЕ УСТРОЙСТВО НА ОСНОВЕ МАТРИЦЫ NBN ФОТОДИОДОВ, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ В СПЕКТРАЛЬНОМ ДИАПАЗОНЕ 3–5 МКМ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. № 3
Текстовый фрагмент статьи