Статья: Влияние термической обработки кремния, легированного никелем, на его электрические свойства (2020)

Читать онлайн

В работе рассмотрено влияние термической обработки, при температурах T = 573–1073 К, на электрические свойства монокристаллов кремния, содержащих микровключения примесных атомов никеля. Изучено влияние термической обработки на удельное сопротивление монокристаллов кремния, легированного никелем. С помощью электронно-зондового микроанализа получены изображения примесных микровключений никеля до и после воздействия термической обработки.

The influence of heat treatment at temperatures T = 573–1073 K on the electrical properties of silicon single crystals containing microinclusions of impurity nickel atoms is considered. The effect of heat treatment on the resistivity of nickel-doped silicon single crystals is studied. Using electron probe microanalysis, images of nickel impurity microinclusions were obtained before and after exposure to heat treatment.

Ключевые фразы: монокристаллический кремний, никель, диффузия, термический отжиг, скорость охлаждения, микровключения никеля, электронно-зондовый микроанализ, single-crystal silicon, nickel, diffusion, thermal annealing, cooling rate, nickel microinclusions, electron probe microanalysis
Автор (ы): Тургунов Нозимжон Абдуманнопович
Соавтор (ы): Беркинов Элмурод Хошимжонович, Мамажонова Дилнозахон Хаётулло кизи
Журнал: Прикладная физика

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
eLIBRARY ID
43807693
Для цитирования:
ТУРГУНОВ Н. А., БЕРКИНОВ Э. Х., МАМАЖОНОВА Д. Х. ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО НИКЕЛЕМ, НА ЕГО ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. № 3
Текстовый фрагмент статьи