Представлены результаты экспериментальных исследований плазменного осаждения покрытий типа перовскит (CaTiO3) с использованием двух планарных магнетронов. В экспериментах использовались чистые (99,9 %) распыляемые мишени из титана и кальция. Независимое электрическое питание каждого магнетронного разряда осуществлялось как постоянным, так и импульсным (10–20 кГц) напряжением. Осаждение покрытий происходило в смеси аргона и кислорода. Анализ полученных покрытий производился методами сканирующей электронной микроскопии и рентгено-фазового анализа.
The results of experimental studies on perovskite-type (CaTiO3) coatings plasma deposition using two planar magnetrons are presented. Pure (99.9 %) sputtering targets made of titanium and calcium were used in the experiments. The coatings were deposited in a mixture of argon and oxygen. Each magnetron discharge was independently powered by both DC and pulsed (10–20 kHz) voltages. The resulting coatings were annealed and analyzed by scanning electron microscopy and X-ray phase analysis.
Идентификаторы и классификаторы
- Префикс DOI
- 10.51368/1996-0948-2024-6-35-39
Проведенные экспериментальные исследования показали, что предложенный метод может успешно использоваться для синтеза покрытий CaTiO3. Использование металлических мишеней магнетронов значительно расширяет возможности синтеза таких композитных покрытий и упрощает требования к источникам питания. Существенным преимуществом предлагаемого метода является увеличение скорости напыления по сравнению с
методами распыления композитных CaTiO3 мишеней с помощью ВЧ-магнетронов
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ОБЩАЯ ФИЗИКА
Василяк Л. М., Шубралова Е. В., Чикирев В. Н.
Влияние околообъектовой среды на орбитальные космические аппараты
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Щукин В. Г., Константинов В. О.
Влияние температуры расплава металлургического кремния на процесс его плазмохимической очистки 1
Чистолинов А. В., Якушин Р. В., Лубин А. А., Угрюмов А. В.
Исследование эмиссионного спектра молекулярного азота в разряде с жидким электролитным анодом
Дудин В. С., Вавилин К. В., Кралькина Е. А., Задириев И. И., Двинин С. А., Локтионов Е. Ю., Никонов А. М., Швыдкий Г. В.
Влияние внешнего магнитного поля на характеристики прототипа ВЧ индуктивного воздушного электроракетного двигателя
Гаджиев М. Х., Юсупов Д. И., Ильичев М. В., Тюфтяев А. С.
Исследование влияния малой добавки пропан-бутана на электроды генератора низкотемпературной плазмы аргона
Шандриков М. В., Хомутова У. В., Черкасов А. А., Окс Е. М.
Синтез покрытий со структурой перовскита в магнетронном разряде с мишенями из кальция и титана
Тарасенко В. Ф., Белоплотов Д. В., Сорокин Д. А., Xin Y.
Генерация частиц с электродов, имеющих малые радиусы кривизны, при диффузном разряде атмосферного давления и энерговкладе 1 мДж
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Попов В. С., Миленкович Т., Хакимов К. Т., Королева Т. В., Деомидов А. Д., Давлетшин Р. В., Хамидуллин К. А., Сапцова О. А., Яковлев В. О., Шуклов И. А., Короннов А. А., Егоров А. В., Пономаренко В. П.
Чувствительность фоторезисторов на основе коллоидных квантовых точек HgTe в коротковолновом и средневолновом диапазонах инфракрасного спектра при комнатной температуре
Попов В. С., Пономаренко В. П., Дирочка А. И., Попов С. В.
Фотосенсорика инфракрасного диапазона на основе гибридно-монолитных матриц на квантовых точках
Комаровский Н. Ю., Белов А. Г., Нестюркин М. С., Хихеев Н. Г., Кузнецов А. Н., Ларионов Н. А., Кладова Е. И., Князев С. Н., Парфентьева И. Б., Молодцова Е. В., Тихонов Д. А.
Исследование распределения концентрации свободных электронов вдоль оси монокристалла GaAs, легированного теллуром
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Пушкин Д. Б., Скрябин А. С., Жупанов В. Г., Турьянский А. Г., Сенков В. М.
Структура и оптические свойства тонкоплёночных многослойных зеркальных покрытий на основе пары Ta2O5/SiO2, полученных методом ионного распыления ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Пассет Р. С., Бутвина Л. Н., Вакуленко А. Ф., Гаврилов Г. А., Капралов А. А., Молоков А. Ю., Сотникова Г. Ю.
Оптоволоконный пирометрический сенсор средневолнового ИК-диапазона для исследования термоэлектрических эффектов в сегнетоэлектрических и полупроводниковых структурах
Жидик Ю. С., Гарипов И. Ф., Карпов С. Р., Романова М. А., Троян П. Е.
Разработка полупроводникового источника белого света с высоким индексом цветопередачи
Рыбалка С. Б., Кульченков Е. А., Демидов А. А.
Радиационно-стойкий линейный стабилизатор напряжения положительной полярности
C O N T E N T S
GENERAL PHYSICS
Vasilyak L. M., Shubralova E. V. and Chikirev V. N.
Influence of the around-object environment on orbital space vehicles
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
Shchukin V. G. and Konstantinov V. O.
The effect of the melt temperature of metallurgical silicon on the process of its plasma chemical purification
Chistolinov A. V., Yakushin R. V., Lubin A. A. and Ugryumov A. V.
Investigation of the emission spectrum of molecular nitrogen in a discharge with a liquid electrolyte anode
Dudin V. S., Vavilin K. V., Kralkina E. A., Zadiriev I. I., Dvinin S. A., Loktionov E. Yu., Nikonov A. M. and Shvydkiy G. V.
The influence of the external magnetic field on the characteristics of the prototype RF air-breathing inductive electric propulsion thruster
Gadzhiev M. Kh., Yusupov D. I., Ilyichev M. V. and Tyuftyaev A. S.
Investigation of the effect on the electrodes of a small addition of propane-butane to the plasma-forming gas of the low-temperature argon plasma generator
Shandrikov M. V., Khomutova U. V., Cherkasov A. A. and Oks E. M.
Synthesis of coatings with a perovskite structure in a magnetron discharge with pure Ca and Ti targets
Tarasenko V. F., Beloplotov D. V., Sorokin D. A. and Xin Y.
Generation of particles from electrodes with a small radius of curvature in a diffuse discharge of atmospheric pressure at the energy input of 1 mJ
PHOTOELECTRONICS
Popov V. S., Milenkovich T., Khakimov K. T., Koroleva T. V., Deomidov A. D., Davletshin R. V., Khamidullin K. A., Saptsova O. A., Yakovlev V. O., Shuklov I. A., Koronnov A. A., Egorov A. V. and Ponomarenko V. P.
Room temperature SWIR and MWIR photosensitivity of HgTe based CQDs photoresistor
Popov V. S., Ponomarenko V. P., Dirochka A. I. and Popov S. V.
Infrared photosensorics based on hybrid monolithic arrays on quantum dots
Komarovskiy N. Yu., Belov A. G., Nestyurkin M. S., Khikheev N. G., Kusnetsov A. N., Larionov N. A., Kladova E. I., Knyazev S. N., Parfenteva I. B., Molodtsova E. V. and Tikhonov D. A.
Investigation of free electron concentration distribution along tellurium doped GaAs single crystal axis
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
Pushkin D. B., Skriabin A. S., Zhupanov V. G., Turyansky A. G. and Senkov V. M.
Structure and optical properties of thin Ta2O5/SiO2 multilayer mirror prepared by ion beam sputtering
PHYSICAL APPARATUS AND ITS ELEMENTS
Passet R. S., Butvina L. N., Vakulenko A. F., Gavrilov G. A., Kapralov A. A., Molokov A. Yu. and Sotnikova G. Yu.
MWIR fiber optic pyrometric sensor for studying thermoelectric effects in ferroelectric and semiconductor structures
Zhidik Yu. S., Garipov I. F., Karpov S. R., Romanova M. A. and Troyan P. E.
Development of a semiconductor white light source with a high color rendering index Rybalka S. B., Kulchenkov E. A. and Demidov A. A.
The radiation hardened linear positive voltage regulator
Другие статьи выпуска
Экспериментально и теоретически исследовано влияние эффекта поглощенной дозы ионизирующего излучения на работу линейного стабилизатора напряжения положительной полярности ИС-ЛС3-5В с низким падением напряжения с использованием разработанного аппаратно-программного комплекса. Установлено, что по параметрам выходное напряжение и минимальное падение напряжения ИС-ЛС3-5В демонстрирует радиационную стойкость к эффектам поглощенной дозы и сохраняет функциональное состояние без отказа в исследованном диапазоне облучения. Определена аналитическая зависимость выходного напряжения и минимального падения напряжения от поглощенной дозы ионизирующего излучения. Разработана принципиальная схема и SPICE-макромодель стабилизатора ИС-ЛС3-5В для электротехнического моделирования с учетом величины поглощенной дозы при радиационном облучении.
Приведены результаты разработки полупроводникового источника белого света, обладающего нейтральной цветовой температурой и высоким индексом цветопередачи. Разработанный источник белого света состоит из двух светодиодных гетероструктурных кристаллов на основе GaN синего и зеленого цветов свечения, установленных в общий металл-полимерный корпус и покрытых люминофорной композицией из красного и желтого люминофоров. Показано, что подбор оптимального соотношения между красным и желтым люминофорами и между связующим силиконом позволяет достичь высокий индекс цветопередачи и обеспечить необходимую цветовую температуру. В частности, использование в люминофорной композиции 9 % желтого люминофора, 1 % красного люминофора и 90 % силиконового наполнителя позволило обеспечить цветовую температуру двухкристального источника света 4500 К и индекс цветопередачи на уровне 94.
Представлен оптоволоконный температурный сенсор (пирометр) средневолнового ИК-диапазона, предназначенный для контроля динамики изменения температуры образцов сегнетоэлектрических материалов и полупроводниковых структур малых объемов. Устройство обеспечивает детектирование теплового излучения участка поверхности объекта диаметром до 1 мм с разрешением не хуже 50 мK и быстродействием до 1 мс в диапазоне температур 20–200 С в том числе непосредственно в области лазерного термоволнового воздействия. Эффективность устройства продемонстрирована на примерах его использования для исследования термоэлектрических эффектов в сегнетоэлектрических и полупроводниковых структурах.
Совокупность полученных характеристик обеспечивается использованием последних достижений отечественной элементной базы фотоники – неохлаждаемого спектрально селективного ИК-фотодиода, чувствительного в узкой спектральной области 4,2 0,25 мкм (разработка ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН) и оптоволоконной схемы доставки теплового излучения на основе ИК-оптоволокна с высоким коэффициентом пропускания в области 3–12 мкм (разработка НЦВО РАН им. Е. М. Дианова).
Применение оптических покрытий на основе многослойных диэлектрических зеркал в настоящий момент представляет существенный интерес для создания радиационностойкой зеркальной оптики. Апробировано применение метода распыления ионным пучком для создания ИК-зеркала на основе пары Ta2O5/SiO2, нанесенного на подложку из плавленого кварца. Полученные образцы были изучены с помощью спектрофотомерии в видимом и ИК-диапазонах, рентгеновской рефлектрометрии и дифракции. Примененный метод позволил получать аморфные слои Ta2O5 и SiO2. Для достигнутых толщин и плотностей покрытий коэффициент отражения в ближнем ИК превышал 99,9 %. Показано, что использованная комплексная методика может быть полезна не только для исследования структуры и состава подобных покрытий, но и для индикации отклонения формы образцов, например, вследствие растягивающих механических напряжений.
Исследовано распределение концентрации свободных электронов вдоль оси для двух монокристаллов n-GaAs, выращенных методом Чохральского и легированных теллуром. Значение концентрации свободных электронов определялось двумя методами: традиционным холловским с использованием четырёхконтактной геометрии (метод Ван дер Пау) и с помощью разработанного авторами оптического метода, основанного на анализе спектров инфракрасного отражения. Все измерения проводились при комнатной температуре. Показано, что зависимости холловской и оптической концентраций свободных электронов от координаты вдоль оси монокристалла описываются линейными функциями. Соответственно, значения реального коэффициента распределения теллура в слитке могут заметно отличаться от общепринятого (табличного). Установлено, что холловская концентрация превышает оптическую, то есть приповерхностные слои исследованных образцов обеднены свободными электронами (по сравнению с объёмом), причём расхождение между значениями холловской и оптической концентраций увеличивается вдоль оси слитка.
Гибридно-монолитные матрицы ИК-диапазона на основе коллоидных квантовых то-чек (ККТ) активно развиваются в последние несколько лет. Динамика развития и достигнутые на сегодняшний день параметры по шагу, предельному формату и низкой стоимости позволяют говорить о том, что данное направление может обеспечить массовое распространение ИК-камер такого типа в различных сферах, где применение классических гибридных матричных фотоприемников ограничено или невозможно. Статья посвящена базовым вопросам построения таких матриц, анализу передовых достижений по данному направлению, в том числе в России, а также прогнозу возможных применений, которые открываются для ИК-фотосенсорики на основе ККТ.
Исследование способов создания фотосенсоров на средневолновый ИК-диапазона на основе коллоидных квантовых точек (ККТ) для создания недорогих фотоприемных матриц является одной из наиболее актуальных задач в современной фотосенсорике. Проведен синтез ККТ HgTe, изготовлены фоторезисторы и исследованы фотосенсорные характеристики. Экспериментально показано, что изготовленные на основе синтезированных ККТ HgTe фоторезисторы имеют чувствительность в коротковолновом и средневолновом ИК-диапазоне при комнатной температуре.
В воздухе, азоте, аргоне и гелии атмосферного давления исследовано излучение плазмы диффузного разряда, формируемой между двумя электродами с малым радиусом кривизны. При наносекундной длительности импульса напряжения и милиджоульных энерговкладах в газ зарегистрированы треки частиц, вылетающих из ярких пятен на электродах, в том числе, под прямым углом к их поверхности. Показано, что в этих условиях длина треков зависит от полярности электрода и, что в воздухе треки заканчиваются более яркой областью свечения. Установлено, что наибольшую интенсивность излучения при разрядах в четырёх различных газах (воздух, азот, аргон и гелий) имеют треки, которые формируются в воздухе. Из этого, а также из зарегистрированной ранее длительности свечения треков в сотни микросекунд, следует, что их излучение в основном определяется нагревом материала электрода в результате взаимодействия с кислородом.
Проведено исследование состояния катода со вставкой из чистого и лантанированного вольфрама при добавлении к плазмообразующему газу аргону пропан-бутана для генератора низкотемпературной плазмы постоянного тока с вихревой стабилизацией дуги и расширяющимся каналом газоразрядного тракта. При малой добавке пропана
(1 %) в аргоновой среде, происходит осаждение углерода на границе раздела между вольфрамом и корпусом катода из меди со скоростью 0,2 мм/мин. На аноде осаждение при данном расходе не обнаружено.
RU“>Изучены характеристики модели ВЧ индуктивного ионного двигателя, работающего на азоте и кислороде, при наложении на разряд внешнего продольного магнитного поля с индукцией не более 75 Гс. Экспериментально показано, что наибольший ток ионов удается получить, используя магнитные поля с индукцией 18 и 70 Гс. В рабочем диапазоне f = 10–25 см3/мин для тока 200 мА цена иона, рассчитанная на основании значений мощности ВЧ-генератора, составляет величину 1400–1500 Вт/А. Оценка цены иона по величине вложенной в плазму мощности позволяет определить минимально возможную для рассматриваемого прототипа ВЧ ионного двигателя величину цены иона в 850 Вт/А.
Измерено распределение интенсивности свечения второй положительной системы азота по высоте в разряде с жидким электролитным анодом при атмосферном давлении в воздухе. Показано, что интенсивность свечения второй положительной системы азота имеет абсолютный максимум вблизи металлического электрода, превосходящий по интегральной интенсивности свечения интегральную интенсивность свечения всего остального разряда. Показано, что вращательные температуры молекулярного азота в разряде с жидким анодом вблизи поверхности раствора и вблизи металлического электрода в диапазоне токов 20–40 мА монотонно растут с ростом разрядного тока, причём вблизи металлического электрода они в 1,2–1,6 раз выше, чем вблизи поверхности раствора.
Исследовано влияние температуры расплава металлургического кремния на эффективность плазмохимической очистки с использованием электронного пучка.
При плазмохимическом рафинировании протекают следующие процессы: испарение легколетучих примесей за счет быстрого разогрева металлургического кремния с помощью электронного пучка; перевод трудно испаряемых в вакууме примесей в их легколетучие соединения в химически активной окислительной электронно-пучковой плазме.
Установлено, что удаление разных групп примесей необходимо проводить при разных температурах в диапазоне 1300–1900 °С.
Выполнен анализ исследований свечения метеорных потоков, зарегистрированных в международных космических экспериментах «УФ-атмосфера» » с 2019 г. и «Терминатор» на международной космической станции. Анализ показал, что количество зарегистрированных случаев свечения метеоров в УФ области спектра в атмосфере превышает расчетное зенитное часовое число событий, которые увидел бы наблюдатель на Земле. Это различие может быть связано с более точной регистрацией мелких частиц, слабое свечение которые не видно с поверхности Земли на фоне шумов. Обнаружены аэрозольные слоистые структуры в верхних слоях атмосферы при прохождении метеорами высот 90–100 км, как следствие непрерывного поступления микрочастиц из метеорных потоков в период эпохи. При ударе высокоскоростных частиц метеорных потоков о поверхность космического объекта возникают импульсная плазма, импульсные электрические и магнитные поля, импульсы электрического тока, которые воздействуют на космические аппараты и могут приводить к разрушающему воздействию на электронику и на компьютерные программы, что может приводить к отказу аппаратуры.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400