Многофакторная модель управления формообразованием крупногабаритных оптических деталей (2021)

Рассмотрены особенности технологических процессов управления формообразованием оптических поверхностей крупногабаритных плоских деталей на этапах шлифования и полирования на современных станках непрерывного формообразования полно-размерным инструментом. Дано обоснование структуры многофакторной математической модели процессов шлифования и полирования плоских оптических поверхностей на основе изучения законов движения исполнительных механизмов и зо-ны обработки оптических станков непрерывного формообразования полноразмерным инструментом. Приведён анализ влияния технологических факторов и физико-химических особенностей процессов обработки поверхностей плоских оптических деталей на функцию съёма оптического материала модели химико-механического метода обработки (CMP – chemical mechanical polishing). Проведён анализ исследования погрешности функции съёма оптического материала представленной многофакторной математической модели с рекомендацией к фиксации определённых значений главных кинематических параметров станочного оборудования.

The features of technological processes for controlling the shaping of the optical surfaces of large-sized flat parts at the stages of grinding and polishing on modern machines of continuous shaping with a full-size tool. The substantiation of the structure of a multifactorial mathematical model of the processes of grinding and polishing of flat optical surfaces is given on the basis of studying the laws of motion of actuators and the processing zone of optical machines of continuous shaping with a full-size tool. The analysis of the influence of technological factors and physicochemical features of the processes of processing surfaces of flat optical parts on the function of removing the optical material of a model of chemical mechanical polishing (CMP) is presented. The analysis of the study of the error of the optical material removal function of the presented multivariate mathematical model with the recommendation for fixing certain values of the main kinematic parameters of machine equipment is carried out.

Тип: Статья
Автор (ы): Денисов Дмитрий Геннадьевич
Ключевые фразы: ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
681.7.02. Процессы получения и обработки оптических деталей
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-2-85-94
eLIBRARY ID
45648268
Текстовый фрагмент статьи