Генерация плазмы при ионизации газа электронными источниками в диапазоне давлений 1–100 Па (обзор) (2019)

В статье приведен обзор последних достижений в области генерации и исследования пучковой плазмы, получаемой при ионизации газа стационарным низкоэнергетичным пучком электронов в форвакуумном диапазоне давлений (1–100 Па). Представлены особенности взаимодействия стационарного электронного пучка c создаваемой им плазмой при его транспортировке в вакуумной камере большого объема, а также результаты исследования параметров плазмы, создаваемой при инжекции электронного пучка в сосуд с диэлектрическими стенками. Показано, что в зависимости от параметров электронного пучка, давления и рода газа возможно создание условий коллективного взаимодействия с зажиганием пучково-плазменного разряда, отличающегося повышенным значением концентрации и температуры плазменных электронов.

The article presents an overview of the latest achievements in the field of generation and study of the beam plasma obtained during gas ionization by a low-energy electron beam in the range of medium vacuum pressures. The features of interaction of the electron beam with the plasma produced by it during its transportation in a vacuum chamber of a large volume, and the results of the study of the parameters of the plasma produced by the injection of the electron beam into a vessel with dielectric walls are presented. It is shown that depending on the parameters of the electron beam, as well as the pressure and gas type, it is possible to create conditions for collective interaction with the ignition of the beam-plasma discharge, characterized by an increased concentration and temperature of plasma electrons.

Тип: Статья
Автор (ы): Климов Александр Сергеевич
Соавтор (ы): Зенин Алексей Александрович, Золотухин Денис Борисович, Тюньков Андрей Владимирович, Юшков Юрий Георгиевич
Ключевые фразы: ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.533. Электронные (катодные) пучки и геометрическая оптика. Электронная оптика
621.384.5. Техническое применение тлеющего разряда
eLIBRARY ID
23035240
Текстовый фрагмент статьи