Неохлаждаемые матричные терагерцовые микроболометрические приемники (2022)

Продолжается обсуждение вопросов, связанных с развитием детекторов излучения терагерцового диапазона. Рассматриваются методы повышения коэффициента поглощения терагерцового излучения, применяемые при разработке и создании матричных неохлаждаемых микроболометрических приемников ТГц-излучения. Практически полное поглощение ТГц-излучения достигается при использовании:

  1. антенн, нагруженных на резистивную нагрузку, 2) тонких металлических поглотителей, 3) метаматериалов или частотно-селективных поверхностей, 4) золотой черни и 5) углеродных материалов, в первую очередь, вертикально ориентированных углеродных нанотрубок. В случае антенн и тонких металлических поглотителей, при помощи толстого слоя диэлектрика дополнительно повышается эффективная толщина зазора между отражателем и мембраной болометра, и применяются дополнительные резонаторы, образованные зазором между болометром и входным окном. Для повышения ширины полосы чувствительности применяют болометры инвертированного типа с поглотителями на основе тонких металлических поглотителей.

The paper continues the discussion of issues related to the development of detectors of radiation in the terahertz range. Methods for increasing the absorption coefficient of terahertz ra-diation, which are used in the development and creation of matrix uncooled microbolometric receivers of THz radiation, are considered. Almost complete absorption of THz radiation is achieved using: 1) antennas loaded with a resistive load, 2) thin metal absorbers, 3) metamaterials or frequency-selective surfaces, 4) gold black and 5) carbon materials, pri-marily vertically oriented carbon nanotubes. In the case of antennas and thin metal absorbers, a thick dielectric layer additionally increases the effective thickness of the gap between the reflector and the bolometer membrane, and additional resonators are used, formed by the gap between the bolometer and the entrance window. To increase the sensitivity bandwidth, inverted bolometers with absorbers based on thin metal absorbers are used.

Тип: Статья
Автор (ы): Кульчицкий Николай1 Александрович
Соавтор (ы): Наумов Аркадий Валерьевич, Старцев Вадим Валерьевич, Демьяненко Михаил
Ключевые фразы: ДЕТЕКТИРОВАНИЕ

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2022-10-2-203-209
eLIBRARY ID
48451164
Текстовый фрагмент статьи