Задачи импортозамещения и создание современных фотоприемных модулей (2022)
В последние годы наблюдается быстрое совершенствование изделий фотоники, обусловленное использованием многослойных гетероструктур, выращенных на основе перспективных материалов; конструированием структуры фоточувствительного элемента (ФЧЭ) для достижения минимального темнового тока, что в свою очередь приводит к смене поколений матричных фотоприемных модулей (ФПМ). В работе рассматриваются ФПМ, детектирующие излучение в различных спектральных диапазонах ИК-области спектра: на основе эпитаксиальных структур InSb в диапазоне 3–5 мкм; на основе квантово-размерных QWIP-структур из GaAs/AlGaAs в диапазоне 7,8–9,3 мкм; на основе XBn-структур из InGaAs в диапазоне 0,9–1,7 мкм. Показаны наиболее близкие зарубежные аналоги и определены пути дальнейшего развития.
In recent years, rapid improvement of photonics products has been observed due to the use of multilayer heterostructures grown on the basis of perspective materials; the photosensitive element construction to achieve a minimum dark current, which in turn leads to a change of FPA generation. Several different types of photodetector modules, such as: based on InSb ep-itaxial structures for the range of 3–5 μm; based on GaAs/AlGaAs QWIP-structures for the range of 7.8–9.0 μm; based on InGaAs XBn-structures for the range of 0.9–1.7 μm, have been developed and investigated. The foreign analogues are shown, and the advantages given by the new capabilities offered by new detector technologies are considered.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- УДК
- 621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
621.383.5. Фотоприемники с запирающим слоем - Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2022-10-2-170-182
- eLIBRARY ID
- 48451161
Представлены разработки в области со-здания высокочувствительных современных фотоприемных модулей, пригодных для задачи импортозамещения, которая способствует успешному развитию отечественной науки и промышленности. Инновационными разработками являются топологии матриц фото-чувствительных элементов на основе: ЭС InSb; квантоворазмерной гетероструктуры GaAs/AlGaAs; барьерной ГЭС InGaAs, общей задачей которых является дополнительное снижение темновых токов, увеличение температурной чувствительности, а также уменьшение габаритных и мощностных показателей. Показаны основные фотоэлектрические параметры перспективных ИК-фотомодулей, работающих в SWIR, MWIR и LWIR диапазонах, которые по уровню не уступают лучшим зарубежным аналогам. Для ИК-фотомодулей разработаны алгоритмы и цифровые модули обработки сигналов с выводом на устройства отображения, обладающие современными интерфейсами: USB, Camera-Linc и Ithernet.
Список литературы
- Rogalski A. // Progress in Quantum Electronics. 2012. № 36. Р. 342.
- Болтарь К. О., Яковлева Н. И., Лопухин А. А., Власов П. В. // Прикладная физика. 2021. № 6. С. 30.
- Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Яковлева Н. И., Полесский В. В., Кузнецов П. А., Лазарев П. С., Рудневский В. С., Седнев М. В. // Успехи прикладной физики. 2021. Т. 9. № 6. С. 479.
- Болтарь К. О., Лопухин А. А., Власов П. В., Яковлева Н. И. // Успехи прикладной физики. 2021. Т. 9. № 6. С. 513.
- Péré-Laperne Nicolas, Berthoz Jocelyn, Taalat Rachid, Rubaldo Laurent, Kerlain Alexandre, Carrère Emmanuel. // Proc. of SPIE. 2016. Vol. 9819. P. 981920.
- Reibelo Y., Rouvie A., Nedelcu A., Augey T., Pere-Laperne N., Rubaldo L., Billon-Lanfrey D. // Proc. of SPIE. 2013. Vol. 8896. Р. 88960B.
- Lutz H., Breiter R., Eich D., Figgemeier H., Oelmaier R., Rutzinger S., Schenk H., Wendler J. // Proc. of SPIE. 2017. Vol. 10177. Р. 101771A.
- Gershon G., Avnon E., Brumer M., Freiman W., Karni Y., Niderman T., Ofer O., Rosenstock T., Seref D., Shiloah N., Shkedy L., Tessler R., Shtrichman I. // Proc. of SPIE. 2017. Vol. 10177. Р. 101771I.
- Klipstein Philip, Klin Olga, Grossman Steve, Snapi Noam, Lukomsky Inna, Brumer Maya, Yassen Michael, Aronov Daniel, Berkowicz Eyal, Glozman Alex, Fishman Tal, Magen Osnat, Shtrichman Itay, Weiss Eliezer. // Proc. of SPIE. 2011. Vol. 8012. Р. 80122R.
- Razeghi M. // Eur. Phys. J. AP. 2003. № 23. P. 149.
- Rouvié A., Huet O., Hamard S., Truffer J. P., Pozzi M., Decobert J., Costard E., Zécri M., Maillart P., Reibel Y., Pécheur A. // Proc. of SPIE. 2013. Vol. 8704. Р. 870403.
- Klipstein P. C. // Proc. SPIE. 2008. Vol. 6940. P. 6940-2U.
- Arslan Y., Colakoglu T., Torunoglu G., Aktas O., Besikci C. // Infrared Physics & Technology. 2013. Vol. 59. P. 108.
- Klipstein P. C., Livneh Y., Glozman A., Grossman S., Klin O., Snapi N., Weiss E. // Journal of Electronic Materials. 2014. Vol. 43. P. 2984.
- Rubaldo Laurent, Taalat Rachid, Berthoz Joce-lyn, Maillard Magalie, Péré-Laperne Nicolas, Brunner Alexandre, Guinedor Pierre, Dargent L., Manissadjian A., Reibel Y., Kerlain A. // Proc. of SPIE. 2017. Vol. 10177. P. 101771E.
- Cocle Olivier, Rannou Christophe, Forestier Ber-trand, Jougla Paul, Bois Philippe F., Costard Eric M., Manissadjian A., Gohier D. // SPIE Defense & Security. 2007. Vol. 6542. P. 127.
- Бакаров А. К., Гутаковский А. К., Журавлев, К. С., Ковчавцев А. П., Торопов А. И., Бурлаков И. Д., Болтарь К. О., Власов П. В., Лопухин А. А. // Журнал технической физики. 2017. Т. 87. Вып. 6. С. 900.
- Бурлаков И. Д., Болтарь К. О., Власов П. В., Лопухин А. А., Торопов А. И., Журавлев К. С., Фадеев В. В. // Прикладная физика. 2016. № 3. С. 58.
- Cocle O., Gauthier F-H., Quilghini G., Bois P. F., Costard E. M. // Proc. SPIE. 2003. Vol. 5074. Р. 715.
- Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Власов П. В., Лопухин А. А., Чалый В. П., Кацавец Н. И. // Прикладная физика. 2016. № 6. С. 37.
- Rouvié A. Coussement J., Huet O., Truffer J. P., Pozzi M., Oubensaid E. H., Hamard S., Chaffraix V., Costard E. // Proc. of SPIE. 2015. Vol. 9451. Р. 945105.
- Coussement J., Rouvié A., Oubensaid E.H., Huet O., Hamard S., Truffer J. P., Pozzi M., Maillart P., Reibel Y., Costard E., Billon-Lanfrey D. // Proc. of SPIE. 2014.
Vol. 9070. Р. 907005. - Maimon S., Wicks G. W. // Applied Physics Letters. 2006. Vol. 89. Р. 151109.
- Anderson R. I. // Solid State Elec. 1962. Vol. 5. P. 341.
- Яковлева Н. И., Болтарь К. О., Седнев М. В., Никонов А. В. // Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. № 5. С. 465.
- A. Rogalski, Progress in Quantum Electronics, No. 36, 342 (2012).
- K. O. Boltar, N. I. Iakovleva, A. A. Lopukhin, and P. V. Vlasov, Applied Physics, No. 6, 30 (2021) [in Russian].
- K. O. Boltar, I. D. Burlakov, N. I. Iakovleva, A. V. Polessky, P. A. Kuznetsov, P. S. Lazarev, V. S. Rudnevsky, and M. V. Sednev, Usp. Prikl. Fiz. 9 (6), 479 (2021).
- K. O. Boltar, A. A. Lopukhin, P. V. Vlasov, and N. I. Iakovleva, Usp. Prikl. Fiz. 9 (6), 513 (2021).
- Nicolas Péré-Laperne, Jocelyn Berthoz, Rachid Taalat, Laurent Rubaldo, Alexandre Kerlain, Emmanuel Carrère, and Loïc Dargent, Proc. of SPIE 9819, 981920 (2016).
- Y. Reibelo, A. Rouvie, A. Nedelcu, T. Augey, N. Pere-Laperne, L. Rubaldo, and D. Billon-Lanfrey, Proc. of SPIE 8896, 88960B (2013).
- H. Lutz, R. Breiter, D. Eich, H. Figgemeier, R. Oelmaier, S. Rutzinger, H. Schenk, and J. Wendler, Proc. of SPIE 10177, 101771A (2017).
- G. Gershon, E. Avnon, M. Brumer, W. Freiman, Y. Karni, T. Niderman, O. Ofer, T. Rosenstock, D. Seref, N. Shiloah, L. Shkedy, R. Tessler, and I. Shtrichman, Proc. of SPIE 10177, 101771I (2017).
- Philip Klipstein, Olga Klin, Steve Grossman, Noam Snapi, Inna Lukomsky, Maya Brumer, Michael Yassen, Daniel Aronov, Eyal Berkowicz, Alex Glozman, Tal Fishman, Osnat Magen, Itay Shtrichman, and Eliezer Weiss, Proc. of SPIE 8012, 80122R (2011).
- M. Razeghi, Eur. Phys. J. AP, No. 23, 149 (2003).
- A. Rouvié, O. Huet, S. Hamard, J. P. Truffer, M. Pozzi, J. Decobert, E. Costard, M. Zécri, P. Maillart, Y. Reibel, and A. Pécheur, Proc. of SPIE 8704, 870403 (2013).
- P. C. Klipstein, Proc. SPIE 6940, 6940-2U (2008).
- Y. Arslan, T. Colakoglu, G. Torunoglu, O. Aktas, and C. Besikci, Infrared Physics & Technology 59, 108 (2013).
- P. C. Klipstein, Y. Livneh, A. Glozman, S. Grossman, O. Klin, N. Snapi, and E. Weiss, Journal of Electronic Materials 43, 2984 (2014).
- Laurent Rubaldo, Rachid Taalat, Jocelyn Berthoz, Magalie Maillard, Nicolas Péré-Laperne, Alexan-dre Brunner, Pierre Guinedor, L. Dargent, A. Manissadjian,
Y. Reibel, and A. Kerlain, Proc. of SPIE 10177, 101771E (2017). - Olivier Cocle, Christophe Rannou, Bertrand Forestier, Paul Jougla, Philippe F. Bois, Eric M. Costard, A. Manissadjian, and D. Gohier, SPIE Defense & Security 6542, 127 (2007).
- A. K. Bakarov, A. K. Gutakovsky, K. S. Zhuravlev, A. P. Kovchavtsev, A. I. Toropov, I. D. Burlakov, K. O. Boltar, P. V. Vlasov, and A. A. Lopukhin, Tech. Phys. 87 (6), 900 (2017).
- I. D. Burlakov, K. O. Boltar, P. V. Vlasov, A. A. Lo-pukhin, A. I. Toropov, K. S. Juravlev, and V. V. Fadeev, Applied Physics, No. 3, 58 (2016) [in Russian].
- O. Cocle, F-H. Gauthier, G. Quilghini, P. F. Bois, and E. M. Costard, Proc. SPIE 5074, 715 (2003).
- K. O. Boltar, I. D. Burlakov, P. V. Vlasov, A. A. Lopukhin, V. P. Chaliy, and N. I. Katsavec, Applied Physics, No. 6, 37 (2016) [in Russian].
- A. Rouvié, J. Coussement, O. Huet, J. P. Truffer, M. Pozzi, E. H. Oubensaid, S. Hamard, V. Chaffraix, and E. Costard, Proc. of SPIE 9451, 945105 (2015).
- J. Coussement, A. Rouvié, E. H. Oubensaid, O. Huet, S. Hamard, J. P. Truffer, M. Pozzi, P. Maillart, Y. Reibel, E. Costard, and D. Billon-Lanfrey, Proc. of SPIE 9070, 907005 (2014).
- S. Maimon and G. W. Wicks, Applied Physics Letters 86, 151109 (2006).
- R. I. Anderson, Solid State Elec. 5, 341 (1962).
- N. I. Iakovleva, K. O. Boltar, M. V. Sednev, and A. V. Nikonov, Usp. Prikl. Fiz. 4 (5), 465 (2016).
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Лебедев Ю. А., Шахатов В. А.
Разложение СО2 в барьерном разряде атмосферного давления (аналитический обзор) 109
Васильков Д. Г., Терещенко М. А.
О переходных процессах, приводящих к стабилизации плазменного шнура в стеллараторе Л-2М 132
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Попов В. С., Пономаренко В. П., Попов С. В.
Фото- и наноэлектроника на основе двумерных 2D-материалов (обзор)
(Часть III. Фотосенсоры на основе графена, графеноподобных и родственных моноатомных 2D-наноматериалов) 144
Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Яковлева Н. И., Власов П. В., Лазарев П. С.
Задачи импортозамещения и создание современных фотоприемных модулей 170
Мирофянченко А. Е., Мирофянченко Е. В., Лаврентьев Н. А., Малыгин В. А., Ванюшин В. О., Попов В. С.
Диэлектрические покрытия на основе Al2O3 и SiOx для фотодиодных матриц из антимонида индия 183
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Шабловский О. Н., Кроль Д. Г.
Динамика неустойчивости волновых возмущений и боковое ветвление дендрита в переохлажденном расплаве 189
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Кульчицкий Н. А., Наумов А. В., Старцев В. В., Демьяненко М. А.
Неохлаждаемые матричные терагерцовые микроболометрические приемники 203
C O N T E N T S
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
Yu. A. Lebedev and V. A. Shakhatov
Decomposition of CO2 in atmospheric pressure barrier discharge (analytical review) 109
D. G. Vasilkov and M. A. Tereshchenko
On transition processes leading to stabilization of plasma cord in the L-2M stellarator 132
PHOTOELECTRONICS
V. S. Popov, V. P. Ponomarenko, and S. V. Popov
Photo- and nanoelectronics based on two-dimensional 2D-materials (a review)
(Part III. Photosensors based on graphene, graphene-like and related monoatomic 2D nanomaterials) 144
K. O. Boltar, I. D. Burlakov, N. I. Iakovleva, P. V. Vlasov, and P. S. Lazarev
Import replacement and creation of modern photodetector modules 170
A. E. Mirofyanchenko, E. V. Mirofianchenko, N. A. Lavrentiev, V. A. Maygin, V. O. Va-
nyushin, and V. S. Popov
Alumina and silicone oxide dielectric films for focal plane arrays based on InSb 183
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
O. N. Shablovsky and D. G. Kroll
Dynamics of instable wave perturbations and lateral dendrite branсhing in an undercooled melt 189
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
N. A. Kulchitsky, A. V. Naumov, V. V. Startsev, and M. A. Dem’yanenko
Uncooled matrix terahertz microbolometric detectors 203
Другие статьи выпуска
Продолжается обсуждение вопросов, связанных с развитием детекторов излучения терагерцового диапазона. Рассматриваются методы повышения коэффициента поглощения терагерцового излучения, применяемые при разработке и создании матричных неохлаждаемых микроболометрических приемников ТГц-излучения. Практически полное поглощение ТГц-излучения достигается при использовании:
- антенн, нагруженных на резистивную нагрузку, 2) тонких металлических поглотителей, 3) метаматериалов или частотно-селективных поверхностей, 4) золотой черни и 5) углеродных материалов, в первую очередь, вертикально ориентированных углеродных нанотрубок. В случае антенн и тонких металлических поглотителей, при помощи толстого слоя диэлектрика дополнительно повышается эффективная толщина зазора между отражателем и мембраной болометра, и применяются дополнительные резонаторы, образованные зазором между болометром и входным окном. Для повышения ширины полосы чувствительности применяют болометры инвертированного типа с поглотителями на основе тонких металлических поглотителей.
Изучены эволюционные свойства линии роста свободного дендрита в переохлажденном расплаве чистого вещества. Определены условия морфологической устойчивости / неустойчивости фазовой границы кристаллизации на конечном удалении от вершины дендрита. Для обработки известных в литературе экспериментальных данных о росте кристалла из однокомпонентного переохлажденного расплава предложен параметр роста, который несет информацию о кинетических свойствах фазовой границы кристаллизации и о теплофизических свойствах расплава. Для никеля и меди получены аппроксимирующие функции, определяющие зависимость параметра роста от переохлаждения расплава. Изучены пять вариантов возмущения линии роста, вычислены скорости волн возмущения, распространяющихся по пространственно-неоднородному фону. Указаны ситуации, для которых устойчивость / неустойчивость роста зависит от направления движения волны (к вершине либо от вершины); вычислено пороговое значение ширины зоны неоднородности фона. Определены частоты возбуждающих колебаний и параметр затухания возмущения во времени. Выполнены подробные числовые расчеты, позволившие сопоставить друг с другом свойств дендритного роста для никеля и меди. Дана приближенная аналитическая оценка скорости роста основания боковой ветви.
Исследованы МДП-структуры In/Al2O3/InSb и In/SiOx/АО/InSb методами низкочастотных и высокочастотных C-V характеристик. Диэлектрические слои на поверхности пластин антимонида индия диаметром 2 формировались методами атомно-слоевого осаждения и гибридным способом, включающим анодное окисление и термическое напыление. Были построены карты распределения фиксированного заряда и величины плотности состояний на границе раздела полупроводник-диэлектрик, оценена морфология поверхности. Распределение значений Dit по площади для МДП-структуры In/Al2O3/InSb не превышало 9 %. Средние значения фиксированного заряда, NF, для МДП-структур In/Al2O3/InSb и In/SiOx/АО/InSb составили 1,41011 см-2 и 2,91011 см 2, соответственно. Использование Al2O3, нанесённого методом атомно-слоевого осаждения, может быть использовано для пассивации фотодиодных матриц на основе антимонида индия.
Описаны механизмы возникновения фотосигналов, архитектура и основные параметры фотосенсоров на основе моноатомных 2D-материалов элементов III, IV, V и VI групп главных подгрупп таблицы Менделеева, таких как графен и графеноподобные материалы, силицен, германен, черный фосфор, твердые растворы черный фосфор-мышьяк, антимонен, висмутен, теллурен, борофен и гетероструктуры, содержащие 2D-материалы, в том числе совместно с другими материалами пониженной размерности, а также фотосенсоры с использованием плазмонных наноантенн.
Исследуются процессы накопления и диссипации энергии в горячей плазме, создаваемой и удерживаемой в тороидальной магнитной ловушке стелларатор Л-2М. Изучаются особенности выхода плазмы на стационарную стадию удержания энергии. Начальная стадия разряда, инициированная СВЧ-импульсом в режиме электронного циклотронного резонансного нагрева плазмы (ЭЦР-нагрева), характеризуется сначала быстрым нарастанием энергии плазмы в течение 1 мс от начала СВЧ-нагрева, а затем быстрым (100 мкс) увеличением энергетических потерь плазмы, регистрируемых по диамагнитному сигналу. Эти процессы приводят к окончанию роста запасенной энергии в удерживаемой плазме. Показано, что свойства данного процесса при неизменной мощности СВЧ-нагрева 400 кВт существенно отличаются для различных значений электронной плотности. Обнаружено, что данный процесс связан в первую очередь с процессами, происходящими в краевой области плазмы, в которой расположен на границе плазменного шнура слой стохастических магнитных поверхностей. Обсуждается возможное влияние на данный процесс не-устойчивостей, возникающих в стохастическом слое, а также взаимодействия приграничной плазмы со стенками вакуумной камеры.
Приведен аналитический обзор результатов исследований разложения углекислого газа в барьерном разряде атмосферного давления. Разложение углекислого газа CO2 в барьерном разряде происходит неравновесных условиях в результате диссоциативного возбуждения молекулы электронным ударом. Установлено, что степень разложения углекислого газа и энергетическая эффективность устройства не превышают 70 % и 23 %, соответственно. Эти параметры зависят от геометрии разряда, от вложенной в разряд мощности, расхода газа, зазора между электродами. Одним из перспективных путей увеличения эффективности барьерного разряда является наполнение зазора между электродами гранулами из различных материалов, включая катализаторы.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400