Архив статей

Исследование состава и динамики плотности пылевых частиц, образованных при распылении мишени из Ba(0,8)Sr(0,2)TiO3 в кислородном высокочастотном разряде (2014)
Выпуск: №5 (2014)
Авторы: Пляка Павел Стефанович, Толмачев Геннадий Николаевич, Алихаджиев Сайдмагомед Хаважиевич

Исследованы наночастицы, образовавшиеся в плазме емкостного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция в среде кислорода. В полученных спектрах комбинационного рассеяния наблюдаются как линии исходного сложного оксида, так и линии простых оксидов. Приведены временные зависимости концентрации пыли в потенциальной ловушке, проанализирована динамика изменений. Сделанные оценки скорости движения пылевых частиц в разрядной камере согласуются с экспериментальными результатами.

Сохранить в закладках
Исследование структурных неоднородностей карбида кремния методом малоуглового рентгеновского рассеяния (2014)
Выпуск: №5 (2014)
Авторы: Логунов Михаил Владимирович, Неверов Вячеслав Александрович, Мамин Бари Фяттяхович

Методом малоуглового рентгеновского рассеяния исследована наноструктура кристаллов карбида кремния. Детальный анализ индикатрис рассеяния позволил установить наличие структурных неоднородностей в виде точечных дефектов, линейных и объемных фракталов. Характерной особенностью кристаллов является отсутствие фрактальных поверхностей раздела рассеивающих образований и агрегатов.

Сохранить в закладках
Аналогии между экзоэлектронной фотоэмиссией и вторично-ионным фотоэффектом в полупроводниках (2014)
Выпуск: №5 (2014)
Авторы: Роках Александр Григорьевич, Шишкин Михаил Игоревич, ВЕНИГ СЕРГЕЙ БОРИСОВИЧ, Матасов Максим Дмитриевич, Аткин Всеволод Станиславович

Ранее нами было показано, что увеличение выхода вторичных ионов из полупроводника при подсветке связано с раскачкой кристаллической решетки за счет энергии рекомбинирующих электронно-дырочных пар в узкозонной фазе. Применение подобных рассуждений к электронному газу в полупроводниках наводит на мысль о возможности туннельной фотоэмиссии электронов под действием плазменного резонанса в ближней и средней инфракрасной области спектра. Необходимый рельеф поверхности может быть обеспечен в гетерофазных радиационно-стойких пленках типа CdS-PbS.

Сохранить в закладках
Лазерная генерация в структурах КРТ с квантовыми ямами (2014)
Выпуск: №5 (2014)
Авторы: Войцеховский Александр Васильевич, Горн Дмитрий Игоревич

В данной статье представлен анализ имеющихся в настоящее время экспериментальных работ по получению лазерной генерации в структурах CdxHg1-xTe (КРТ) с множественными квантовыми ямами (МКЯ), выращенных методом молекулярнолучевой эпитаксии (МЛЭ). Для рассмотренных структур было проведено моделирование электронного спектра носителей заряда в квантовой яме, рассчитаны энергии оптических переходов и дана интерпретация наблюдаемых в экспериментах пиков спонтанного и стимулированного излучения.

Сохранить в закладках
Лазерный акселерометр на основе автономного резонаторного датчика (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Мелкумян Баграт Владимирович

Обсуждаются преимущества лазерного акселерометра с неподвижным содержимым. Он основан на новых явлениях динамического изменения моды излучения в жёстком лазерном резонаторе (без движущихся или напрягающихся при движении частей) при его ускоренном движении. Создан прототип автономного резонаторного датчика.

Сохранить в закладках
Спектральные характеристики поглощения в эпитаксиальных структурах на основе InAs при температурах 80 К и 300 К (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Комков Олег Сергеевич, Фирсов Дмитрий Дмитриевич, Ковалишина Екатерина Алексеевна, ПЕТРОВ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ

В работе исследованы эпитаксиальные структуры n-InAs, выращенные на сильнолегированной подложке n++-InAs методом хлоридно-гидридной эпитаксии. Представлены экспериментально полученные спектры показателя поглощения n++-InAs при 83 К и 300 К. Проведено сравнение спектральных зависимостей доли поглощаемого в эпитаксиальном слое излучения при облучении со стороны подложки с различным уровнем легирования n = (0,6–3,3)·1018 см-3.

Сохранить в закладках
Формирование общего контакта в мезапланарных матрицах фоточувствительных элементов на основе гетероэпитаксиальных структур InGaAs/InP (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Андреев Дмитрий Сергеевич, Гришина Татьяна Николаевна, Мищенкова Татьяна Николаевна, Чинарева Инна Викторовна, Тришенков Михаил Алексеевич

Авторами показано, что при изготовлении матриц фоточувствительных элементов на гетероструктурах InGaAs/InP по мезапланарной технологии использование травителя HCl: HNO3: CH3COOH: H2O2 = 1:6:1:1 позволило воспроизводимо получать мезаструктуры глубиной 3÷7 мкм с полированной боковой поверхностью и углом наклон мезаструктуры 60°.

Сохранить в закладках
Влияние плазмохимического травления и последующего отжига на электрофизические свойства CdHgTe (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Костюк Богдан Андреевич, Варавин Василий Семенович, Парм Игорь Оскарович, Ремесник Владимир Григорьевич, Сидоров Георгий Юрьевич

Исследовано влияние плазмохимического травления в плазме Ar/H2 и последующей выдержки при разных температурах на электрофизические свойства пленок CdxHg1-xTe c x ≈ 0,2, выращенных на подложках из GaAs (013). Установлено, что после плазмохимического травления концентрация электронов увеличивается до ~1017 см-3, а также происходит релаксация концентрации с течением времени. На основе модели с образованием комплексов между междоузельными атомами ртути и структурными дефектами кристалла проведено численное моделирование кривых релаксации при разных температурах.

Сохранить в закладках
Исследование шероховатости поверхности подложек CdZnTe различными методами измерения нанометровой точности (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Бурлаков Игорь Дмитриевич, Сизов Александр Леонидович, Денисов Игорь Андреевич, Смирнова Наталья Анатольевна, Силина Александра Андреевна

Проведено сравнение результатов измерений среднеквадратичного отклонения профиля шероховатости (rms) поверхности подложек CdZnTe методами конфокальной микроскопии (КМ), атомно-силовой микроскопии (АСМ) и рентгеновской рефлектометрии (РР). Установлено, что метод КМ дает большие значения rms, метод АСМ занимает промежуточное положение, а РР дает значения на порядок меньшие остальных двух методов. Показано, что значения rms существенно различаются в КМ при использовании разных объективов. Обсуждаются возможные причины рассогласования полученных результатов.

Сохранить в закладках
Исследование влияния термообработки на электрофизические характеристики эпитаксиальных слоев гетероструктур теллурида кадмия-ртути (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Кашуба Алексей Сергеевич, Головин Сергей Вадимович, Болтарь Константин Олегович, Пермикина Елена Вячеславовна, Атрашков Антон Сергеевич

Приведены результаты исследования влияния термообработки на электрофизические характеристики гетероструктур теллурида кадмия-ртути р-типа проводимости, выращенных молекулярно-лучевой эпитаксией. Показано, что при термической обработке в атмосфере инертного газа ГЭС КРТ концентрация дырок возрастает до 31016 cм-3, а концентрация электронов в приповерхностном слое резко уменьшается.

Сохранить в закладках
Кремниевый координатный фотодиод с улучшенными параметрами (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Демидов Станислав Стефанович, Климанов Евгений Алексеевич, Нури Марина Александровна

Приведены результаты работы по улучшению параметров кремниевых координатных фотодиодов (ФД). Показано, что введение в технологический маршрут операции геттерирования диффузионным слоем фосфора приводит к существенному уменьшению темновых токов, что связано с резким снижением концентрации глубокого ГРЦ, определяющего темновой ток в ФД, изготовленных без применения данной операции. Приведены типичные параметры ФД.

Сохранить в закладках
Влияние параметров границы раздела полупроводник-диэлектрик на ток охранного кольца кремниевых фотодиодов (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Демидов Станислав Стефанович, Климанов Евгений Алексеевич

Приведены соотношения, определяющие требования к сопротивлению инверсионного слоя для уменьшения влияния тока охранного кольца на темновой ток и шумы фотодиодов, и получения заданного значения коэффициента взаимосвязи между ФЧЭ в многоэлементных ФД. Показано, что зависимости тока охранного кольца от напряжения смещения и заряда на границе раздела Si—SiO2 при наличии инверсионного слоя удовлетворяют модели генерации тока в его области пространственного заряда. Сопротивление инверсионного слоя возрастает с ростом напряжения смещения в соответствии с зависимостью Rи ~V 1,5.

Сохранить в закладках