ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Исследование работы геттерно-ионного сверхвысоковакуумного насоса орбитронного типа (2020)

Читать онлайн

В статье представлены результаты исследования работы вакуумного орбитронного геттерно-ионного насоса (ОГИН) с азотной криопанелью. Описаны конструктивные особенности ОГИН и режимы его работы. С помощью масс-спектрометра МХ7304А изучен состав остаточной атмосферы металлической прогреваемой вакуумной каме-ры при ее откачивании с помощью ОГИН до сверхвысокого вакуума в зависимости от режимов его работы. Показано, что особенностью масс-спектров остаточной атмо-сферы является полное отсутствие в них пиков тяжелых углеводородов. Основной составляющей остаточной атмосферы (определяющей предельное разрежение насоса) при водяном охлаждении ОГИН является метан СН4. При использовании азотной криопанели при давлении в камере Р = 210-8 Па основной составляющей остаточной атмосферы является водяной пар Н2О, и поэтому при тщательном обезгаживании вакуумной камеры использование орбитронного насоса с азотной криопанелью позволяет получать сверхвысокий безмасляный вакуум лучше 10-8 Па.

The article presents the results of studies of the operation of a vacuum orbitron getter-ion pump (OGIP) with a nitrogen cryopanel. The design features of the OGIP and its operation modes are described. The MX7304A mass spectrometer was used to study the composition of the residual atmosphere of a metal heated vacuum chamber when it was pumped by OGIP to an ultrahigh vacuum, depending on its operating conditions. It is shown that a feature of the mass spectra of the residual atmosphere is the complete absence of peaks of heavy hydrocarbons in them. The main component of the residual atmosphere (determining the ultimate vacuum of the pump) during water cooling of OGIP is methane CH4. When using nitrogen cryopanel at a chamber pressure of P = 2×10-8 Pa, the main component of the residual atmosphere is H2O water vapor, and therefore, with careful degassing of the vacuum chamber, the use of an orbitron pump with a nitrogen cryopanel makes it possible to obtain an ultrahigh oil-free vacuum better than 10-8 Pa.

Ключевые фразы: сверхвысокий безмасляный вакуум, орбитронный вакуумный насос, масс-спектр остаточной атмосферы, ultrahigh oil-free vacuum, orbitron vacuum pump, residual atmosphere mass spectrum
Автор (ы): Лобода Валерий Борисович
Соавтор (ы): Жмайлов Валерий Николаевич, Довжик Михаил Яковлевич, Хурсенко Светлана Николаевна, Чепижный Андрей Владимирович
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.528.5. путем абсорбции газов (остаточных газов) посредством химических реакций
621.528.6. путем абсорбции газов посредством процессов ионизации
eLIBRARY ID
42561269
Для цитирования:
ЛОБОДА В. Б., ЖМАЙЛОВ В. Н., ДОВЖИК М. Я., ХУРСЕНКО С. Н., ЧЕПИЖНЫЙ А. В. ИССЛЕДОВАНИЕ РАБОТЫ ГЕТТЕРНО-ИОННОГО СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОГО НАСОСА ОРБИТРОННОГО ТИПА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. № 1
Текстовый фрагмент статьи