Получение поликристаллического кремния из моносилана газоструйным плазмохимическим методом. Моделирование и эксперимент (2022)

Предложен метод плазмохимического получения поликристаллического кремния. Метод основан на разложении моносилана, подаваемого в реактор в виде сверхзвуковой струи и активированного с помощью электронного пучка. Проведено газодинамическое моделирование распределения потерь кремния в процессе осаждения. Определены коэффициент разложения моносилана с помощью масс-спектрометрических измерений, а также коэффициенты прилипания кремния к поверхности и коэффициент использования моносилана при помощи газодинамического моделирования и весовых измерений.

A method for the plasma-chemical production of polycrystalline silicon is proposed. The method is based on the decomposition of monosilane fed into the process in the form of a supersonic jet and activated by an electron beam. A gas-dynamic simulation of the distribution of silicon losses during the deposition process has been carried out. The decomposition coefficient of monosilane was determined using mass spectrometric measurements. Also, the silicon adhesion coefficient to the surface and the monosilane usage coefficient were determined using gas-dynamic model-ing and weight measurements.

Тип: Статья
Автор (ы): Константинов Виктор Олегович
Соавтор (ы): Щукин Виктор Геннадьевич, Шарафутдинов Равель Газизович
Ключевые фразы: масс-спектрометрия

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.5. Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника
661.681. Кремний
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2022-2-45-49
eLIBRARY ID
48444727
Текстовый фрагмент статьи