Фотоприемные устройства коротковолнового ИК диапазона спектра, предназначенные для космического мониторинга (2023)
Для задачи дистанционного зондирования Земли (ДЗЗ) в коротковолновом инфракрасном (ИК) диапазоне спектра наиболее перспективны матричные и многорядные фотоприемные модули коротковолнового инфракрасного (ИК) диапазона спектра на основе гетероэпитаксиальных структур материалов тройного раствора кадмий-ртуть-теллур (КРТ, HgCdTe) и тройного раствора индий-галлий-арсенид (InGaAs), чувствительные в спектральном диапазоне от 1 до 2,5 мкм. Анализируются возможные архитектуры фоточувствительных элементов, обеспечивающие пониженные темновые токи и шумы.
Рассматриваются пути совершенствования и исследуются темновые токи и параметры гетероструктур n-on-p-типа на основе HgCdTe в широком температурном диапазоне, а также параметры барьерных структур р+-B-n-N+-типа на основе InGaAs.
SWIR photodetectors based on heteroepitaxial structures of ternary solution of cadmium mercury telluride (MCT, HgCdTe) and indium gallium arsenide (InGaAs), sensitive in the spectral range from 1 to 2.5 m, are the most promising for space monitoring. This work presents a review on the recent progress in photosensitive element architectures, and future challenges for SWIR detectors technologies, including materials and forming methods of HgCdTe n-on-p-structures and InGaAs р+-B-n-N+-structures. Current performances of SWIR HgCdTe and InGaAs photodetectors have been investigated in wide temperature range.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- УДК
- 621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
621.383.5. Фотоприемники с запирающим слоем - Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2023-11-2-128-138
- eLIBRARY ID
- 50821480
Положительный опыт, накопленный при разработке гетероэпитаксиальных структур на основе фоточувствительных материалов HgCdTe и InGaAs позволяет эффективно ре-шить проблему создания высокочувствительных фотоприемных устройств, чувствительных в спектральном диапазоне от 1 до 2,5 мкм. В статье проведен анализ возможных архитектур ФЧЭ, обеспечивающих пониженные темновые токи: для ФПУ на основе HgCdTe выбрана архитектура n-on-p-типа; для ФПУ на основе InGaAs выбрана барьерная структура р+-B-n-N+-типа, что позволило уменьшить темновые токи, а, следовательно, шумы, возникающие вследствие различных механизмов рекомбинации. Высокие фото-электрические параметры достигнуты как у ИК ФПУ на основе ГЭС HgCdTe, так и на основе ГЭС InGaAs. Применение данных ИК ФПУ ожидается в оптико-электронных системах космического мониторинга, необходимых для успешного решения задач ДЗЗ.
Список литературы
- Бурлаков И. Д., Гринченко Л. Я., Дирочка А. И., Залетаев Н. Б. / Успехи прикладной физики. 2014. Т. 2. № 2. C. 131–162.
- Joshi Abhay M., Heine Frank, Feifel Thomas. / Proc. of SPIE. 2006. Vol. 6220. P. 622003-1–622003-14. DOI: 10.1117/12.666055
- Rogalski A. / Rep. Prog. Phys.2005. Vol. 68. P. 2267–2336.
- Lei Wen, Antoszewski Jarek, Faraone Lorenzo. / Applied Physics Reviews. 2015. Vol. 2. P. 041303.
- Piotrowski J., Rogalski A. High-Operating-Temperature Infrared Photodetectors. – Bellingham: SPIE Press, 2007.
- Болтарь К. О., Чинарева И. В., Лопухин А. А., Яковлева Н. И. / Прикладная физика. 2013. № 5. С. 10–15.
- Boltar K. O., Burlakov I. D., Ponomarenko V. P., Filachov A. M. / Proc. SPIE. 2009, Vol. 7298. P. 72982P-1–72982P-15.
- ТУ 1778-293/0-0198396-05.
- ТУ 1778-004-03533808-2005.
- ТУ 1778–002–05818248–12.
- William L. A. Planar Double-Layer Heterojunction HgCdTe Photodiodes And Methods For Fabricating Same. Patent US 5.189.297, 1998.
- Wijewamasuriya P. S., Zandian M., Edwall D. D., McLevige M. V., Chen C. A., Pasko J. G., Hildebrandt H., Chen A. C., Arias J. M., D’Souza A. I., Rujirawat S., Siva-
nanthan S. / J. Electron. Mater. 1998. № 27. P. 54649. - Vuillermet M., Billon-Lanfrey D., Reibel Y., Manissadjian A., Mollard L., Baier N., Gravrand O., Destéfanis G. / Infrared Technology and Applications XXXVIII. / Proc. of SPIE. 2012. Vol. 8353. P. 83532K.
- Lutz H., Breiter R., Eich D., Figgemeier H., Fries P., Rutzinger S., Wendler J. / Proc. of SPIE. 2016. Vol. 9819. P. 98191Y.
- Bai Y., Bajaj J., Beletic J. W., Farris M. C., Joshi A., Lauxtermann S., Petersen A., Williams G. / Proc. SPIE. 2008. Vol. 7201. P. 702102.
- Мынбаев К. Д., Иванов-Омский В. И. / ФТП. 2006. Т. 40. Вып. 1. С. 3–22.
- Мынбаев К. Д., Шиляев А. В., Баженов Н. Л., Ижнин А. И., Ижнин И. И., Михайлов Н. Н., Вара-вин В. С., Дворецкий С. А. / Физика и техника полупроводников. 2015. Т. 49. Вып. 3. С. 379–384.
- Castelein P., Baier N., Gravrand O., Mollard L., Brellier D., Rochette F., Kerlain A., Rubaldo L., Reibel Y., Destéfanis G. / Proc. of SPIE. 2014. Vol. 9070. P. 90702Y.
- Яковлева Н. И., Болтарь К. О., Седнев М. В., Никонов А. В. / Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. № 5. С. 465–470.
- Головин С. В., Бурлаков И. Д., Кашуба А. С. Способ изготовления матричного фотоприемника. Пат. RU 2340981 C1. 2007.
- Седнев М. В., Болтарь К. О., Шаронов Ю. П., Лопухин А. А. / Прикладная физика. 2014. № 4. С. 51–55.
- Burlakov I. D., Grinchenko L. Y., Dirochka A. I. and Zaletaev N. B., Usp. Pril. Fiz. (Advances in Applied Physics) 2 (2), 131–162 (2014) [in Russian].
- Joshi Abhay M., Heine Frank and Feifel Thomas, Proc. of SPIE 6220, 622003-1-622003-14 (2006), DOI: 10.1117/12.666055
- Rogalski A., Rep. Prog. Phys. 68, 2267–2336 (2005).
- Lei Wen, Antoszewski Jarek and Faraone Lorenzo, Applied Physics Reviews 2, 041303 (2015).
- Piotrowski J. and Rogalski A., High-Operating-Temperature Infrared Photodetectors, Bellingham, SPIE Press, 2007.
- Boltar K. O., Chinareva I. V., Lopuhin A. A. and Iakovleva N. I., Applied Physics, № 5, 10–15 (2013) [in Russian].
- Boltar K. O., Burlakov I. D., Ponomarenko V. P. and Filachov A. M., Proc. SPIE 7298, 72982P-1–72982P-15 (2009).
- TU 1778-293/0-0198396-05.
- TU 1778-004-03533808-2005.
- TU 1778–002–05818248–12.
- William L. A., Planar Double-Layer Heterojunction HgCdTe Photodiodes And Methods For Fabricating Same: Patent US 5.189.297 (1998).
- Wijewamasuriya P. S., Zandian M., Edwall D. D., McLevige M. V., Chen C. A., Pasko J. G., Hildebrandt H., Chen A. C., Arias J. M., D’Souza A. I., Rujirawat S. and Sivananthan S., J. Electron. Mater., № 27, 54649 (1998).
- Vuillermet M., Billon-Lanfrey D., Reibel Y., Manissadjian A., Mollard L., Baier N., Gravrand O. and Destéfanis G., Proc. of SPIE 8353, 83532K (2012).
- Lutz H., Breiter R., Eich D., Figgemeier H., Fries P., Rutzinger S. and Wendler J., Proc. of SPIE 9819, 98191Y (2016).
- Bai Y., Bajaj J., Beletic J. W., Farris M. C., Joshi A., Lauxtermann S., Petersen A. and Williams G., Proc. SPIE 7201, 702102 (2008).
- Mynbaev K. D. and Ivanov-Omskii V. I., Physics and technical of semiconductors 40 (1), 3–22 (2006).
- Mynbaev K. D., Shilyaev A. V., Bazheno N. L., Izhnin A. I., Izhnin I. I., Mikhailov N. N., Varavin V. S. and Dvoretsky S. A., Physics and technical of semiconductors 49 (3), 379–384 (2015).
- Castelein P., Baier N., Gravrand O., Mollard L., Brellier D., Rochette F., Kerlain A., Rubaldo L., Reibel Y. and Destéfanis G., Proc. of SPIE 9070, 90702Y (2014).
- Iakovleva N. I., Boltar K. O., Sednev M. V. and Nikonov А. V., Usp. Prilk. Fiz. (Advances in Applied Phys-ics) 4 (5), 465–470 (2016).
- Golovin C. V., Burlakov I. D. and Kashuba A. S. Focal Plane Array and methods of fabricating same № 2340981 C1 (RF). 2007.
- Sednev M. V., Boltar K. O., Sharonov Y. P. and Lopukhin A. A., Applied Physics, № 4, 51–55 (2014) [in Russian].
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ОБЩАЯ ФИЗИКА
Петрин А. Б.
Развитие методов решения задач нестационарной теплопроводности плоскослоистых сред 93
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Цаплин С. В., Белоконов И. В., Болычев С. А.
Оценка чувствительности датчика плотности плазмы при воздействии тепловых потоков солнечно-синхронной орбиты на конструкцию зондов 115
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Болтарь К. О., Яковлева Н. И.
Фотоприемные устройства коротковолнового ИК диапазона спектра, предназначенные для космического мониторинга 128
Ляпустин М. Ю., Драгунов Д. Э., Алексеев А. А.
Алгоритм временного шумоподавления с адаптивным порогом для охлаждаемых тепловизионных оптико-электронных систем 139
Астахов В. П., Андрейчиков К. С., Дубенская И. А., Молодцова Е. В.
Исследование вольт-фарадных характеристик МДП-структур на основе антимонида индия 146
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Варюхин А. Н., Гордин М. В., Дутов А. В., Жарков Я. Е., Козлов А. Л., Мошкунов С. И., Хомич В. Ю.
Моделирование трёхфазного повышающего выпрямителя с коррекцией коэффициента мощности для магнитоэлектрического генератора в составе летательного аппарата 155
Сушко А. С., Понин О. В., Симонов М. А., Галявов И. Р., Фокин М. И., Денисов Д. Г.
Метод контроля качества юстировки крупногабаритных телескопических оптических систем (обзор) 167
C O N T E N T S
GENERAL PHYSICS
Petrin A. B.
Development of methods for solving problems of non-stationary heat conduction of flat-layered media 93
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
Tsaplin S. V., Belokonov I. V. and Bolychev S. A.
Plasma density sensor sensitivity estimation under the influence of sunsynchronous orbit heat fluxes on probes 115
PHOTOELECTRONICS
Boltar K. O. and Iakovleva N. I.
Improvement of SWIR photodetectors intended for space monitoring 128
Lyapustin M. Y., Dragunov D. E. and Alekseev A. A.
Temporal denoising algorithm with adaptive threshold for cooled thermal imaging optoelectronic systems 139
Astakhov V. P., Andreichikov K. S., Dubenskaya I. A. and Molodcova E. V.
Capacitance-voltage characteristics based on indium antimonide MIS-structures
study 146
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
Varyukhin A. N., Gordin M. V., Dutov A. V., Zharkov Ya. E., Kozlov A. L., Moshkunov S. I. and Khomich V. Yu.
Numerical simulation of an active three-phase boost converter with power factor correction for an aircraft magnetoelectric generator 155
Sushko A. S., Ponin O. V., Simonov M. A., Galyavov I. R., Fokin M. I. and Denisov D. G.
The method of quality control of the alignment of large-sized telescopic optical systems (a review) 167
Другие статьи выпуска
Произведено численное моделирование трёхфазного повышающего выпрямителя с коррекцией коэффициента мощности для магнитоэлектрического генератора в составе летательного аппарата. Посредством расчётной модели в программе LTSpice показано влияние параметров силовой цепи и цепи управления на режим работы повышающего преобразователя. Для рассматриваемых параметров первичной цепи определены оптимальные параметры цепи управления, позволяющие достичь максимизации коэффициента мощности при заданном уровне напряжения на нагрузке.
Проведено исследование вольт-фарадных характеристик (ВФХ) структур металл–диэлектрик–полупроводник (МДП), изготовленных на пластинах монокристаллического антимонида индия, вырезанных по плоскостям (211) и (100) из слитка, выращенного в направлении [211], и по плоскости (100) из слитка, выращенного в направлении [100] . МДП-структуры были двух типов – с анодным окисным слоем и с защитной диэлектрической композицией – с дополнительным слоем SiOx. Измерения проводились при многократных прямых (начиная от нулевого смещения на полевом электроде) и обратных «проходах» со скоростью изменения напряжения смещения 500 мВ/с при температуре жидкого азота. Анализ результатов «проходов» позволил определить знак и значения эффективного поверхностного заряда в исходном состоянии и после каждого прямого «прохода», когда обнаруживаются дополнительные заряды двух видов: устойчивые и неустойчивые. Знак этих зарядов противоположен полярности напряжения на полевом электроде. Устойчивые заряды неизменны в течение всего времени охлаждения и «стекают» только при «отогреве» МДП-структуры. Неустойчивые «стекают» уже при закорачивании охлажденной МДП-структуры.
Показано, что значения всех видов поверхностного заряда в МДП-структурах с защитной диэлектрической композицией, а следовательно и концентрации ловушек, являются минимальными в случае пластин, вырезанных по плоскости (100) из слитков, выращенных в направлении [100].
Проведён расчёт и сделан анализ влияния термомеханического состояния конструкционных элементов датчика плотности плазмы (ДПП) на динамику изменения параметров резонатора при воздействии тепловых потоков круговой солнечно-синхронной орбиты (ССО) в условиях длительной эксплуатации. Из результатов анализа следует, что по квазипериодическому закону (КПЗ) синхронно во времени при движении наноспутника на орбите изменяются температурное поле; относительные смещения конструктивных элементов зондов ДПП в поперечном и продольном направлениях в результате термоупругих деформаций. По результатам расчета деформаций в модельном приближении двухпроводной линии была определена относительная чувствительность (1,19810-3–2,11510-3) резонатора, которая пропорциональна сдвигу резонансной частоты. Установлено на основе расчёта, что сдвиг резонансной частоты аналогично изменяется по КПЗ как в сторону меньших -311,93 кГц, так и больших частот 550,597 кГц относительно резонанс-ной частоты при отсутствии воздействия тепловых потоков за время пяти вит-ков обращения наноспутника вокруг Земли. В этом диапазоне частот вычислялись значения диэлектрической проницаемости, плотности электронной плазмы.
Исследована возможность измерения электронной плотности плазмы в моменты времени, когда резонансный сдвиг равен нулю. Определена допустимая пятипроцентная область электронной плотности плазмы, в которой резонансный сдвиг незначительно влияет на возможность точного измерения плотности плазмы.
В другие моменты времени сдвиг резонансной частоты приводит к изменению диэлектрической проницаемости плазмы, и в результате точность измерений плотности плазмы будет снижаться. Относительная чувствительность ДПП является важной характеристикой для получения достоверных результатов измерений плотности плазмы при необходимой относительной чувствительность датчика должна составлять (10-4–10-5).
Исследуется задача о распространении тепла от нестационарного точечного источника, расположенного внутри или снаружи плоскослоистой теплопроводящей среды. Нестационарная задача приводится к задаче о гармоническом точечном источнике тепла, для которой обобщается метод отражения. Развитый метод отражений для точечного гармонического источника обобщается на случай произвольной системы источников и применяется для решения задач нестационарной теплопроводности плоскослоистых сред с осесимметричными источниками тепла сложной формы.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400