Статья: Формирование индиевых микроконтактов ионным травлением (2011)

Читать онлайн

Представлены результаты исследования процессов ионно‐лучевого и высокочастотного катодного травления напыленных слоев индия для формирования микроконтактов. Изготовлены матрицы микроконтактов высотой более 10 мкм с шагом 28 мкм формата 384×288. Ширина канавки, разделяющей индиевые микроконтакты, не превышает 5 мкм.

In this work the results of research of processes ion beam and high-frequency cathode etching of evaporated indium layers for formation of microcontacts are submitted. The matrixes of microcontacts of height more than 10 microns with a step 28 microns of the 384×288 format are made. The width of a flute dividing (sharing) indium microcontacts does not exceed 5 μm.

Ключевые фразы: микроконтакт, травление, напыленный слой, индий, ионно-лучевой метод
Автор (ы): Болтарь Константин Олегович (Boltar K.), Корнеева Марина Дамировна, Мезин Юрий Сергеевич, Седнев Михаил Васильевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
621.794.4. Травление
Для цитирования:
БОЛТАРЬ К., КОРНЕЕВА М. Д., МЕЗИН Ю. С., СЕДНЕВ М. В. ФОРМИРОВАНИЕ ИНДИЕВЫХ МИКРОКОНТАКТОВ ИОННЫМ ТРАВЛЕНИЕМ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2011. №1
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.