Представлены результаты исследования процессов ионно‐лучевого и высокочастотного катодного травления напыленных слоев индия для формирования микроконтактов. Изготовлены матрицы микроконтактов высотой более 10 мкм с шагом 28 мкм формата 384×288. Ширина канавки, разделяющей индиевые микроконтакты, не превышает 5 мкм.
In this work the results of research of processes ion beam and high-frequency cathode etching of evaporated indium layers for formation of microcontacts are submitted. The matrixes of microcontacts of height more than 10 microns with a step 28 microns of the 384×288 format are made. The width of a flute dividing (sharing) indium microcontacts does not exceed 5 μm.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
1. Эксп ериментально показано, что травление ускоренными ионами аргона позволяет формировать индиевые микроконтакты высотой 10—12 мкм и шириной канавки, разделяющей микроконтакты, 4—5 мкм.
2. Шероховатость поверхности индия в процессе травления ионами аргона может существенно изменяться и зависит от морфологии исходного слоя. Скорость травления индия зависит от морфологии напыленных слоев и максимальна на зеркальных поверхностях.
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.
Выпуск
Другие статьи выпуска
Экспериментально исследовано влияние внешних когерентных или шумовых возмущений большой амплитуды на поведение динамических и статических вольтамперных характеристик туннельных диодов. Показано, что при подборе соответствующей частоты с ростом амплитуды внешнего когерентного сигнала на вольтамперных характеристиках туннельных диодов появляются многозначности и абсолютное отрицательное сопротивление. Шумовое воздействие приводит к подавлению отрицательного дифференциального сопротивления N-типа.
Предложен новый универсальный измерительный прибор с частотными датчиками. По сравнению с обычными приборами он обладает следующими преимуществами: более совершенные характеристики, более простое схемное решение и более широкий диапазон функциональных возможностей, позволяющими работу с разнообразными линейными частотными датчиками.
На основе рентгенодифрактометрических исследований, а также исследований с помощью атомного силового микроскопа показано, что результатом длительного хранения слоистого селенида индия InSe на воздухе является формирование слоя собственного окисла, который может представлять собой диэлектрическую матрицу Se2O5 с включениями наноразмерных частиц металлического индия или смесь In2O3, In(OH)3 и In2(SeO3)3⋅2H2SeO3⋅H2O. Рассмотрена возможность использования обоих типов окислов в качестве активных элементов датчиков влажности воздуха.
Разработаны специализированные библиотеки для автоматизированного проектирования интегральных схем считывания и обработки сигналов фотоприемных устройств (ФПУ). Библиотеки разработаны для КМОП-технологии с двумя уровнями поликремния и двумя уровнями металла на топологические размерности 0,35; 0,6 и 1,0 мкм.
В работе исследованы характеристики КРТ‐фоторезисторов при сильных фоновых засветках.
Рассмотрено обнаружение дефектных элементов фотоприемных устройств по сигналам сцены. Дефекты обнаруживаются с использованием средних сигналов элементов, дисперсий сигналов и дисперсий разностей соседних отсчетов элементов. Коррекция реальных изображений показала работоспособность предлагаемого метода обнаружения дефектов по сцене.
Проведено исследование светодиодов InGaN/AlGaN/GaN на стандартной подложке SiC [KPT-1608 PBC (SMD)] с двумя квантовыми ямами и активным слоем InxGa1-xN c х = 0,21. Установлено влияние γ-облучения на концентрационный профиль мелкой примеси и концентрацию глубоких уровней. Определены величина компенсированной области и градиента концентрации. Выявлена возможность увеличения КПД светодиода и его яркости.
Изучена динамика стационарного пучково‐плазменного разряда при давлении нейтрального газа 10-3—1 Торр. Выделены три режима разряда, два из которых по свойствам отличаются новизной и ранее не исследованы. В разряде обнаружены диссипативные неустойчивости с различными инкрементами. Исследована генерация потоков ионов и проведены эксперименты по “сухой” очистке ими поверхности металлических образцов. Указаны области давлений нейтрального газа, в которых разряд может эффективно использоваться для неравновесной плазмохимии.
Представлены экспериментальные и теоретические результаты исследования потока ионов в разряде низкого давления в скрещенных Е и Н полях. Показано, что в околозвуковом бесстолкновительном потоке ионов в холодной плазме могут реализовываться два квази-стационарных токовых состояния.
Выполнено моделирование электронно‐оптической системы мощного клистрона с распределенным взаимодействием коротковолновой части миллиметрового диапазона, обеспечивающей формирование электронного пучка с компрессией ~ 200 и его транспортировку в пролетном канале резонаторной системы диаметром 0,38 мм при анодном напряжении 17,5 кВ и токе пучка 0,7 А.
Работа посвящена физическим принципам магнитно‐инерциального термоядерного синтеза и лазерно‐плазменным методам генерации мегагауссного поля при сферической имплозии замагниченной мишени. Разработана модель на основе магнитной системы удержания плазмы — антипробкотрон с инерциальным сжатием мишени лазерным драйвером. Проведен предварительный расчет динамики плазмы в каспе, сжимаемой под воздействием лазерных пучков. Получены аналитические и численные оценки числа частиц и интенсивности магнитного поля при магнитно‐инерциальном обжатии плазмы. Обсуждаются вопросы облучения сферически замкнутого объема импульсом лазера высокой энергии.
Рассмотрено влияние эмиссии электронов из плазмы газового разряда на энергетические параметры плазменного эмиттера. Показано, что отбор электронов из плазмы сопровождается перераспределением энерговклада в разряд от источников электропитания плазменного эмиттера — источника питания разряда и источника ускоряющего разрядного напряжений. В результате могут быть реализованы несколько режимов эмиссии: “режим зондовых измерений “, “переходный режим “ и “режим полного переключения “.
Получены приближенные аналитические соотношения, позволяющие исследовать влияние различных геометрических и физических параметров на эволюцию барьерного разряда вблизи электрода с цилиндрическим поперечным сечением. Найденные соотношения позволяют оценить время существования барьерного разряда. Подтверждены и выявлены новые существенные особенности эволюции барьерного разряда.
Проанализированы основные виды неоднородностей, образующихся в объемном самостоятельном разряде. Рассмотрены возможные механизмы и условия подавления их развития. Получен и исследован предельно однородный объемный самостоятельный разряд в газовых смесях СО2 : N2 : He, в котором отсутствуют локальные плазменные неоднородности. При энерговкладе 170 Дж/л длительность устойчивого горения разряда в смесях газов CO2 : N2 : He = 1 : 2 : 3 атмосферного давления составила 10 мкс.
Рассмотрен ряд ранее не решенных задач классической термодинамики. Получено точное выражение для теплоты перехода фазовых превращений первого рода, а также получены выражения, связывающие теплоту испарения и теплоту плавления с другими термодинамическими параметрами процессов. Предложен новый метод определения эффективных объемов молекул. Проведен анализ некоторых “модельных” газов, а именно газа Ван‐дер-Ваальса и газа Бертло. Показано, что обобщенное уравнение газа Ван‐дер‐Ваальса—Бертло не только качественно, но и количественно описывает реальные газы.
Определены и изучены цветовые характеристики молекул полициклических органических полупроводников в колориметрических системах XYZ и RGB. Установлены линейные зависимости между цветовыми характеристиками и потенциалом ионизации и сродством к электрону молекул. Выводы подтверждены статистической обработкой данных.
Предложен метод измерения угла рассеяния оптического излучения, основанный на использовании двух процессов брэгговской дифракции, отличающихся друг от друга углом падения света на звуковую волну. В предельном случае, когда одновременно наблюдаются два дифракционных порядка, исчезающие при небольшой угловой отстройке, угловое расстояние между первыми дифракционными порядками равно углу расходимости падающего излучения. Метод использован для определения размеров неоднородностей шлифованной стеклянной пластинки.
Показано, что при селективном отражении находящегося в квантовом когерентном состоянии резонансного излучения от возбужденных сред нарушается квантовая статистика первоначального излучения. Нарушение статистики проявляется на макроскопическом уровне. Как следствие, нарушаются формулы Френеля, что свидетельствует о неприменимости полуклассической теории излучения, оперирующей с неквантованным электромагнитным полем. Рассчитан коэффициент отражения от тонкой пленки, заполненной как термически возбужденной средой, так и средой с инверсной населенностью.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400