Изучена динамика стационарного пучково‐плазменного разряда при давлении нейтрального газа 10-3—1 Торр. Выделены три режима разряда, два из которых по свойствам отличаются новизной и ранее не исследованы. В разряде обнаружены диссипативные неустойчивости с различными инкрементами. Исследована генерация потоков ионов и проведены эксперименты по “сухой” очистке ими поверхности металлических образцов. Указаны области давлений нейтрального газа, в которых разряд может эффективно использоваться для неравновесной плазмохимии.
Dynamics of the stationary beam-plasma discharge at the 10-3—1 Torr pressure of neutral gas was studied. Three regimes of the discharge were found, two of which are different on properties, have novelty, and not investigated earlier. Two dissipative instabilities with different increments were discovered. Generation of ion streams was investigated, and experiments on “dry” clearing of surface of metal samples by them have been carried out. Areas of pressure in which the discharge can effectively be used for nonequilibrium plasma chemistry have been determined.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.