Рассмотрены физические процессы, имеющие место при электронно-лучевой обработке поверхности диэлектрических материалов. В частности, экспериментально исследованы механизмы стекания внесенного лучом электрического заряда. Обнаружено, что обработка поверхности ряда стекол сопровождается аномально высокой электронной эмиссией, которая приводит к быстрому исчезновению внесенного заряда. Данный эффект не может быть обусловлен вторичной эмиссией электронов
The physical processes taking place while electron beam processing surfaces of insulators are discussed. Particularly, the mechanisms of the introduced electric charge vanishing are examined experimentally. It was found that surface e-beam processing of some glasses is accompanied by extremely high electron emission which leads to the introduced charge rapid disappearing. This effect cannot be explained in terms of secondary electron emission
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.