Рассмотрена эволюция основного узла оптико-акустического преобразователя датчика давления. Показан последовательный переход от мембранного датчика давления с жестким закреплением мембраны по контуру, приводящему к неконтролируемым механическим напряжениям и изменениям основных метрологических параметров к кантилеверным датчикам давления, у которых закрепляется лишь одна из сторон, что приводит к увеличению чувствительности более чем в 140 раз. Показано, что путем химического травления на мембранной фольге четырех Г-образных узких сквозных пазов в одном технологическом цикле могут быть сформированы полностью свободный от деформаций центральный мембранный элемент квадратной формы и четырехточечный угловой эластичный подвес в виде четырех узких упругих сенсорных элементов, расположенных вдоль боковых сторон недеформируемого мембранного элемента жестко закрепленных на опорном контуре.
The evolution of the main unit of an optical-acoustic pressure transducer-sensor is considered. A consistent transition from a membrane pressure sensor with rigid fixation of the membrane along the contour, leading to uncontrolled mechanical stresses and changes in the main metrological parameters to cantilever pressure sensors in which only one side is fixed, which leads to an increase in sensitivity by more than 140 times, is shown. It is shown that by chemical etching of four L-shaped narrow through grooves on a membrane foil in one technological cycle, a four-point Z-shaped skew-symmetric suspension can be formed, containing a completely deformation-free central membrane element of a square shape, a four-point angular elastic suspension in the form of four narrow elastic sensor elements located along the lateral sides of the non-deformable membrane element and rigidly fixed to the support contour, and a support contour.
Предпросмотр статьи
