Исследован механизма образования тока утечки в р+–n-переходах фотодиодов при наличии локальных дефектов. Рассмотрены закономерности образования локальных дефектов в диэлектрических слоях с целью определения условий, снижающих их плотность. На пластинах монокристаллического кремния (Cz-Si) n-типа диаметром 100 мм с удельным сопротивлением 4–5 Омсм и ориентацией (100) изготавливались элементы (ФЧЭ) с размером площадок 1,41,4 мм2. Технологический цикл изготовления включал операции окисления в парах H2O + HCl, фотолитографии, загонки (осаждения) бора из BN, диффузии бора и диффузии фосфора в различных режимах. В качестве источника диффузанта при диффузии фосфора использовались как жидкие источники POCL3 и PCL3, так и твердый источника – пластины метафосфата алюминия (МФА) (Al2O3, 3P2O5). Установлено, что вольт-амперная характеристика (ВАХ) кремниевых фотодиодов с аномальными «мягкими» характеристиками определяется туннельным механизмом протекания тока. Применение оптимальных режимов геттерирования приводит к резкому снижению количества фоточувствительных элементов с аномальными ВАХ.
The mechanism of leakage current formation in p+-n junctions of photodiodes in the presence of local defects is investigated. The patterns of formation of local defects in dielectric layers are considered in order to determine the conditions that reduce their density. On n-type monocrystalline silicon (Cz-Si) wafers with a diameter of 100 mm and a resistivity of 4–5 ohms. cm and orientation (100) were used to produce elements with a pad size of 1.41.4 mm2. The manufacturing process cycle included the operations of oxidation in H2O + HCl vapors, photolithography, corralling (precipitation) of boron from BN, boron diffusion and phosphorus diffusion in various modes. Both liquid sources POCL3 and PCL3 and solid sources – aluminum metaphasate (MFA) (Al2O3, 3P2O5) plates were used as a diffusant source during phosphorus diffusion. It has been established that the current-voltage characteristic of silicon photodiodes with anomalous “soft” characteristics is determined by the tunneling current flow mechanism. The use of optimal gettering modes leads to a sharp decrease in the number of photosensitive elements with anomalous current-voltage characteristic.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 88774605
1. Установлено, что вольт-амперная характеристика (ВАХ) кремниевых фотодиодов с аномальными «мягкими» характеристиками определяется туннельным механизмом протекания тока.
2. Причиной возникновения туннельных токов являются локальные области небольшой площади с напряженностью электрического поля 3106–107 В/cм. Причиной образования указанных областей могут быть примесные преципитаты, образующиеся на поверхности кремния при формировании дефектов в окисле.
3. Применение оптимальных режимов геттерирования примесей приводит к резкому снижению количества фоточувствительных элементов с аномальными ВАХ.
Список литературы
1. Blackstone S., Henry W., Jastrzebski L., Fisher A. W. / Journal of Electrochemical Society. 1982. Vol. 3. P. 667-668.
2. Storch W., Mohr U., Elstner L., Leihkauf R. / Phys. Stat. Sol. (a). 1992. Vol. 132. Р. K109.
3. Miyashita M., Fukui H., Kubota A., Samata S., Hiratsuca H., Matsushita Y. / International Conference on Solid State Devices and Materials. - Yocohama, 1991. P. 568-570.
4. Болтарь К. О., Вильдяева М. А., Иродов Н. А., Климанов Е. А., Ляликов А. В., Малыгин В. А., Молчанов Д. С., Макарова Э. А. / Прикладная физика. 2025. № 2. С. 39. EDN: GYTPJU
5. Зи С. Физика полупроводниковых приборов. - М.: Мир, 1984.
6. Busta H. H., Waggener H. A. / Journal of Electrochemical Society. 1977. Vol. 124. № 9. P. 1424-1429.
1. Blackstone S., Henry W., Jastrzebski L. and Fisher A. W., Journal of Electrochemical Society 3, 667–668 (1982).
2. Storch W., Mohr U., Elstner L. and Leihkauf R., Phys. Stat. Sol. (a) 132, K109 (1992).
3. Miyashita M., Fukui H., Kubota A., Samata S., Hiratsuca H. and Matsushita Y., International Conference on Solid State Devices and Materials. Yocohama, 1991, pp. 568–570.
4. Boltar K. O., Vildyaeva M. A., Irodov N. A., Klimanov E. A., Lyalikov A. V., Malygin V. A., Molchanov D. S., Makarova E. A., Applied Physics, № 2, 39 (2025).
5. Zi S., Physics of Semiconductor Devices. Moscow, Mir, 1984.
6. Busta H. H. and Waggener H. A., Journal of Electrochemical Society 124 (9), 1424–1429 (1977).
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Влияние локальных дефектов в окисных слоях на вольт-амперные характеристики кремниевых фотодиодов Болтарь К. О., Вильдяева М. Н., Демидов С. С., Климанов Е. А., Молчанов Д. С., Макарова Э. А., Попов К. А., Жукович-Гардеева А. А., Егоров А. В. 7
Анализ данных производственного контроля для управления качеством монокристаллов GaAs Комаровский Н. Ю., Князев С. Н., Трофимов А. А., Савиных Е. А., Соколовская Э. А., Кудря А. В. 14
Конформные тепловые метаматериалы – новые возможности управления тепловыми потоками в электронике Сакуненко Ю. И., Кондратенко В. С., Трофимов А. А. 21
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Обеззараживание семян подсолнечника при воздействии отрицательного коронного разряда Бычков В. Л., Логунов А. А., Ваулин Д. Н., Шваров А. П., Изотов А. М., Тарасенко Б. А., Дударев Д. П. 26
Особенности формирования импульсного разряда в предварительно ионизированном гелии Курбанисмаилов В. С., Рагимханов Г. Б., Терешонок Д. В., Халикова З. Р., Майоров С. А., Абакарова Х. М. 31
Направленный электрический разряд в воде по каналу с ионами соли NaCl Панов В. А., Савельев А. С., Куликов Ю. М. 38
О среднеквадратичном смещении активной броуновской частицы с инерцией вращения в гармонической ловушке Лисин Е. А., Лисина И. И. 44
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Электрические и оптические свойства кремний-углеродных пленок, осажденных электронно-лучевым испарением карбида кремния в газовой среде Бурдовицин В. А., Нгон А Кики Л. Ж., Окс Е. М., Суховольский Ф. А. 50
Исследования полиамидных мембран, модифицированных наночастицами нитрида бора, для фильтрации наночастиц серебра Локтионова И. В., Абакумов П. В., Кузьменко А. П., Колпаков А. И., Новиков Е. А., Мамонтов В. А., Петрова Л. П. 56
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Исследование свойств вакуумно-плотных паяных соединений, применяемых для изготовления держателей матричных фотоприёмных устройств Коротаев Е. Д., Гурьев Д. И., Гурьев А. И., Зиньковский А. А., Морозов Д. И., Шаров А. А. 63
Исследование эффективности канальной системы охлаждения воздуха с использованием электрогидродинамических потоков Воеводин В. В., Жарков Я. Е., Кириллов А. С., Коржова О. И., Мошкунов С. И., Хомич В. Ю. 69
Оптико-акустические приемники со свободно подвешенной мембраной Котляр П. Е. 75
ИНФОРМАЦИЯ
Сводный перечень статей, опубликованных в журнале «Прикладная физика» в 2025 г. 82
Правила для авторов 89
C O N T E N T S
PHOTOELECTRONICS
The effect of defects in oxide layers on the performance of silicon photodiodes Boltar K. O., Vildyaeva M. N., Demidov S. S., Klimanov E. A., Molchanov D. S., Makarova E. A., Popov K. A., Zhukovich-Gardeeva A. A. and Egorov A. V. 7
Application of retrospective analysis of production control databases for quality control of GaAs single crystals Komarovskiy N. Y., Knyazev S. N., Trofimov A. A., Savinykh E. A., Sokolovskaya E. A. and Kudrya A. V. 14
Conformal thermal metamaterials – new opportunities for managing heat flows in electronics Sakunenko Yu. I., Kondratenko V. S. and Trofimov A. A. 21
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
Effect of negative corona discharge on the contamination of sunflower seeds Bychkov V. L., Logunov A. A., Vaulin D. N., Shvarov A. P., Izotov A. M., Tarasenko B. A. and Dudarev D. P. 26
Features of pulsed discharge formation in pre-ionized helium Kurbanismailov V. S., Ragimkhanov G. B., Tereshonok D. V., Khalikova Z. R., Maiorov S. A. and Abakarova Kh. M. 31
Guided discharge in water with the aid of NaCl crystals Panov V. A., Saveliev A. S. and Kulikov Yu. M. 38
On the mean square displacement of an active Brownian particle with rotational inertia in a harmonic trap Lisin E. A. and Lisina I. I. 44
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
Electrical and optical properties of silicon-carbon films deposited by electron beam evaporation of silicon carbide in gas environment Burdovitsin V. A., Ngon A Kiki L. J., Oks E. M. and Sukhovolsky F. A. 50
Enhanced permeability of polyamide fabrics for silver nanoparticles via modification with boron nitride Loktionova I. V., Abakumov P. V., Kuzmenko A. P., Kolpakov A. I., Mamontov V. A., Novikov E. A. and Petrova L. P. 56
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
Investigation of vacuum-tight cooled assemblies for FPAs Korotaev E. D., Guryev D. I., Guryev A. I., Zinkovsky A. A., Morozov D. I. and Sharov A. A. 63
Performance study of a channel cooling system with EHD flows Voevodin V. V., Zharkov Ya. E., Kirillov A. S., Korzhova O. I., Moshkunov S. I. and Khomich V. U. 69
Optical-acoustic radiation receivers with a freely suspended membrane Kotlyar P. E. 75
INFORMATION
The summary list of the articles published in Applied Physics (Prikladnaya Fizika) in 2025 82
Rules for authors 89
Другие статьи выпуска
Рассмотрена эволюция основного узла оптико-акустического преобразователя датчика давления. Показан последовательный переход от мембранного датчика давления с жестким закреплением мембраны по контуру, приводящему к неконтролируемым механическим напряжениям и изменениям основных метрологических параметров к кантилеверным датчикам давления, у которых закрепляется лишь одна из сторон, что приводит к увеличению чувствительности более чем в 140 раз. Показано, что путем химического травления на мембранной фольге четырех Г-образных узких сквозных пазов в одном технологическом цикле могут быть сформированы полностью свободный от деформаций центральный мембранный элемент квадратной формы и четырехточечный угловой эластичный подвес в виде четырех узких упругих сенсорных элементов, расположенных вдоль боковых сторон недеформируемого мембранного элемента жестко закрепленных на опорном контуре.
Проведено расчетно-экспериментальное исследование модельной канальной системы охлаждения с использованием принудительной конвекции воздуха и вспомогательных электрогидродинамических (ЭГД) потоков, создаваемых коронным разрядом, при варьировании геометрических параметров канала и мощности устройств для создания охлаждающих потоков. Для рассматриваемых условий показана область эффективного использования ЭГД-потоков и выявлена нелинейная зависимость температуры стенок канала от мощности создающего ЭГД-поток коронного разряда.
Исследованы свойства вакуумно-плотных паяных соединений, созданных индукционной пайкой, применяемой для изготовления узлов вакуумных криогенных корпусов охлаждаемых матричных фотоприёмных устройств (МФПУ) – гильз-держателей. Учтена специфика их конструкции и применения в микрокриогенных системах охлаждения МФПУ. Для контроля скорости натекания по гелию разработана оригинальная оснастка, позволяющая существенно повысить предельную чувствительность гелиевого течеискателя. Скорость натекания по гелию изготовленных образцов корпусов составляет 510-13 Пам3/с.
Методами атомно-силовой микроскопии установлено формирование упорядоченных нанослоев (размер частиц 20 нм, шероховатость 24 нм). Спектроскопия комбинационного рассеяния света подтвердила образование химических связей с сохранением структуры полиамида. Модифицированные образцы показали высокую пропускную способность (97–98 %), превосходя немодифицированные на 35 %, что согласуется с данными молекулярно-динамического моделирования. Полученные результаты свидетельствуют о перспективности использования модифицированных полиамидных мембран для эффективной фильтрации наночастиц серебра.
Кремний-углеродные пленки приготовлены путем электронно-лучевого испарения карбида кремния в азоте, кислороде, гелии и пропане. Электронный пучок создавался источником электронов с плазменным катодом. Измерены удельное сопротивление, энергия активации проводимости, ширина оптической запрещенной зоны, а также содержание элементов в пленках, осажденных при различных температурах. Показано, что изменение свойств пленок с температурой осаждения коррелирует с изменением соотношения элементов в пленках. Результаты проведенных исследований имеют важное значение для создания технологии электронно-лучевого синтеза кремний-углеродных пленок.
Продемонстрирована возможность направления распространения канала электрического разряда в воде с помощью создания локальных зон повышенной проводимости, которые возникают в следе от движущегося в воде кристалла поваренной соли. Направленный разряд был получен в воде с электропроводностью 350 мкСм/см под действием импульсного напряжения миллисекундной длительности амплитудой 7 кВ в межэлектродном промежутке 8 мм. Эффект заключается в изменении разрядным каналом своего направления распространения при встрече со следом тонущего кристалла, т. е. нормальное горизонтальное (относительно направления силы тяжести) распространение от анода к катоду сменяется направленным вертикальным распространением по следу с повышенной из-за постепенного растворения кристалла проводимостью.
Одной из нерешенных базовых задач в физике активной материи является аналитическое описание среднеквадратичного смещения активной броуновской частицы в гармонической ловушке с учетом поступательной и вращательной инерции частицы. Актуальность решения такой задачи обусловлена множеством экспериментов и рядом приложений с активными частицами, в которых инерционные эффекты могут играть существенную роль. В рамках модели активной броуновской частицы с поступательной и вращательной инерцией получено аналитическое выражение, описывающее эволюцию среднеквадратичного смещения частицы в гармонической ловушке.
Представлены результаты экспериментального исследования импульсного газового разряда в гелии при атмосферном давлении с ультрафиолетовой предыонизацией газа в системе «сетчатый катод – плоский анод». Напряжение на разрядном конденсаторе изменялось в диапазоне 3–14 кВ. Установлено, что амплитудное значение тока монотонно возрастает от десятков единиц до 1000 А с увеличением прикладываемого напряжения, демонстрируя почти линейную зависимость амплитудного значения тока Imaх от прикладываемого напряжения.
Проведены исследования воздействия отрицательного коронного разряда на зараженность семян подсолнечника масличного направления использования. Обработка семян этой культуры холодной плазмой коронного разряда способствует снижению их зараженности грибами, вызывающими заболевания растений. По мере увеличения продолжительности воздействия эффективность применения холодной плазмы повышается. При экспозиции в 180 и 240 минут отрицательная корона снизила зараженность ржавчиной средних по крупности семян подсолнечника на 100 %, а на крупных оказалась не эффективной.
Представлены результаты разработки и валидации нового класса материалов – конформных тепловых метаматериалов (КТМ), обладающих уникальной триадой свойств: выраженной анизотропией теплопроводности (xy/z 20–30, где xy = 60– 80 Вт/(мК), z = 2–4 Вт/(мК)), обеспечивающей «тепловой разворот»; конформностью – способностью точно воспроизводить рельеф поверхностей и изгибаться до 180 для «геометрического» управления потоками; автоэффектом улучшения теплового контакта за счет микроэкструзии внутренней теплопроводящей пасты. КТМ занимают промежуточное положение между жесткими анизотропными пластинами и тепловыми трубами, сочетая их преимущества при меньшей стоимости. Валидационные эксперименты на светодиодных лентах, точечных LED-источниках и мощных резисторах показали снижение температуры кристалла на 28–45 C, что эквивалентно увеличению срока службы в 2–3 раза. Доказана возможность замены традиционных Ш-образных радиаторов на покрытия КТМ и связанного с этим радикального улучшения массогабаритных характеристик электронных устройств.
Проведен анализ данных контроля легированных теллуром монокристаллов GaAs, выращенных методом Чохральского. Оценка соответствия распределения параметров материала и процесса выращивания монокристаллов GaAs нормальному распределению Гаусса проведена в соответствии с критериями асимметрии и Смирнова. Характеристика степени зависимости в системе «параметры материала-параметры процесса» оценивалась на основе градации величин парного коэффициента корреляции (|rxy| 0,013–0,420). Между фактическими и прогнозируемыми результатами наблюдалось существенное расхождение, коэффициент корреляции R варьировался в диапазоне 0,23–0,47. Показано, что для получения высокой подвижности свободных носителей заряда при низкой плотности структурных дефектов (Nd < 1,8104 см-2) необходимо обеспечить конвективное перемешивание расплава при плоском фронте кристаллизации.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400