Статья: Структурные свойства подложек кадмий-цинк-теллур для выращивания твердых растворов кадмий-ртуть-теллур (2016)

Читать онлайн

В работе представлены экспериментальные результаты исследования и анализа структурных свойств подложек кадмий-цинк-теллур (КЦТ), предназначенных для эпитаксии кадмийртуть-теллур (КРТ), методами рентгеновской дифрактометрии, селективного травления, инфракрасной микроскопии. Показана взаимосвязь формы и полной ширины на полувысоте кривой качания со структурными дефектами, присутствующими в материале. Преципитаты и включения второй фазы, присутствующие в материале подложки в количестве 102— 104 см-2, не оказывают влияния на значения полной ширины на полувысоте кривой качания. Уширение кривой качания вызвано повышенной плотностью дислокаций (>8105), либо их ячеистым характером распределения. Построены карты распределения значений полной ширины на полувысоте кривой качания для определения структурного совершенства по всей площади образцов, позволяющие проводить оценку пригодности пластин для дальнейшего технологического процесса.

Consideration is given to experimental results and analysis of structural properties of cadmium zinc telluride (CZT) substrates for mercury-cadmium-telluride epitaxy. These substrates have been investigated using X-ray diffraction, selective etching and infrared microscopy. A relation between rocking curve shape and full width half maximum (FHWM) with structural imperfections was demonstrated. The concentration of the at Te precipitates at level of 3·103—1·104 cm-2 don’t impact on FWHM. X-ray line broadening is caused by the high dislocations density (>8105 cm-2) or cellular dislocation structure. The FWHM maps for inspection of CZT substrates were made.

Ключевые фразы: КЦТ, рентгеновская дифрактометрия, КРТ, МФПУ, структурные дефекты, кривая качания
Автор (ы): Пряникова Екатерина Васильевна, Мирофянченко Андрей Евгеньевич, Смирнова Наталья Анатольевна, Силина Александра Андреевна, Бурлаков Игорь Дмитриевич, Гришечкин Михаил Борисович, Денисов Игорь Андреевич, Шматов Николай Иванович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.59. Проводники с особо высоким сопротивлением. Полупроводники
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
26000063
Для цитирования:
ПРЯНИКОВА Е. В., МИРОФЯНЧЕНКО А. Е., СМИРНОВА Н. А., СИЛИНА А. А., БУРЛАКОВ И. Д., ГРИШЕЧКИН М. Б., ДЕНИСОВ И. А., ШМАТОВ Н. И. СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПОДЛОЖЕК КАДМИЙ-ЦИНК-ТЕЛЛУР ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ КАДМИЙ-РТУТЬ-ТЕЛЛУР // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №2
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (1)