Статья: Параметры радиационных процессов в плазме микроволнового резонансного разряда (2016)

Читать онлайн

В работе представлены результаты экспериментального исследования поведения спектральных и фотометрических характеристик излучения в оптическом диапазоне импульснопериодического микроволнового ЭЦР-разряда (2,45 ГГц, мощность до 200 Вт, давление плазмообразующего газа Ar от 110-4 до 110-1 Торр). В этих условиях в рабочем объеме создается плотная (ne = 11010÷41011 см-3) низкотемпературная (Те = 3÷5 эВ) плазма с высокой степенью ионизации (110-3÷510-5). Показано, что регистрируемое повышение концентрации электронов вблизи верхней границы указанного диапазона давлений при неизменном уровне подводимой мощности приводит к радикальному изменению типа и спектрального состава излучения, а также к пороговому характеру увеличения светового потока. Анализ зондовых и оптических измерений позволил выделить диапазон изменения рабочих условий, определяющих характер и параметры изучаемых радиационных процессов.

This work provides results of experimental investigation of spectral and photometric characteristics of visible range radiance produced by resonant pulse-periodic microwave ECR discharge (2.45 GHz, average power up to 200 W, Argon pressure ranging from 110-1 to 110-4 Torr) The discharge working parameters lead to generation of dense (ne = 1101041011 cm-3), low temperature (Те = 35 eV) plasma with ionization rate within 110-3510-5 range. It is shown that the growth of electron concentration at the upper limit of the pressure range with the constant level of provided power leads to a registered measurable change in type and spectral composition of the radiance, and, furthermore, radical (over 15—20 times) increase in light flux. Simultaneous analysis of probe and optical measurements allowed to obtain the variation range of working parameters that define the nature and parameters of studied radiational processes.

Ключевые фразы: ЭЦР-разряд, СПЕКТРОСКОПИЯ, ФОТОМЕТРИЯ, видимый диапазон, зондовые измерения
Автор (ы): Андреев Виктор Викторович, Волдинер Игорь Алексеевич, Корнеева Мария Анатольевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9. Физика плазмы
eLIBRARY ID
26000056
Для цитирования:
АНДРЕЕВ В. В., ВОЛДИНЕР И. А., КОРНЕЕВА М. А. ПАРАМЕТРЫ РАДИАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ В ПЛАЗМЕ МИКРОВОЛНОВОГО РЕЗОНАНСНОГО РАЗРЯДА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №2
Текстовый фрагмент статьи