ISSN 0367-3294 · EISSN 1726-7498
Язык: ru

Статья: Структура и кинетика диспропорционирования тонких пленок GeO (2024)

Читать онлайн

Объектом исследования являются тонкие пленки (~10-15 nm) монооксида германия, полученные методом термического испарения в вакууме композитных слоев GeO2, содержащих нанокластеры Ge, и осаждения паров GeO на холодную подложку. По данным рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено, что структуру ближнего порядка пленок монооксида германия можно описать моделью неупорядоченной случайной сетки. Стехиометрический параметр x в пленках GeOx составил 1.07±0.05. Данные спектроскопии комбинационного рассеяния света и инфракрасной спектроскопии свидетельствуют о разной глубине протекания процесса диспропорционирования GeO при отжиге от 5 до 30 min и температуре 200-400oC в вакууме. Отжиги продолжительностью 45 min и более при тех же температурах приводили к частичному окислению аморфных кластеров Ge в матрице оксида.

Ключевые фразы: монооксид германия, нанокластеры германия, модель неупорядоченной случайной сетки, реакция диспропорционирования, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, комбинационное рассеяние света, ИК-спектроскопия
Автор (ы): АСТАНКОВА КСЕНИЯ НИКОЛАЕВНА
Соавтор (ы): Кислухин Н.А., АЗАРОВ ИВАН АЛЕКСЕЕВИЧ, ПРОСВИРИН ИГОРЬ ПЕТРОВИЧ, ВОЛОДИН ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ
Журнал: ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА

Идентификаторы и классификаторы

УДК
539.216.2. Пленки. Тонкие пленки
Для цитирования:
АСТАНКОВА К. Н., КИСЛУХИН Н.А., АЗАРОВ И. А., ПРОСВИРИН И. П., ВОЛОДИН В. А. СТРУКТУРА И КИНЕТИКА ДИСПРОПОРЦИОНИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК GEO // ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА. 2024. ТОМ 66, № 9