Статья: Анализ спектров фотолюминесценции гетероструктур с квантовыми ямами на основе AlGaAs/GaAs (2018)

Читать онлайн

Разработана методика контроля спектров фотолюминесценции для многослойных гетероэпитаксиальных структур с квантовыми ямами на основе AlGaAs/GaAs, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Проведен расчет уровней размерного квантования в квантовых ямах. Построены тепловые карты распределения значений длины волны и интенсивности в максимуме спектра фотолюминесценции по поверхности эпитаксиальных слоев различного состава. Картографирование позволило оценить однородность распределения состава и толщины эпитаксиальных слоев по поверхности образцов. Проведенное исследование является перспективным для усовершенствования методик входного и межоперационного контроля многослойных гетероэпитаксиальных структур, используемых в технологии изготовления матричных фотоприемных устройств ИК-диапазона.

Photoluminescence spectra control method was developed adapted to MBE multilayer structures with AlGaAs/GaAs quantum wells. The calculation of quantum-size levels in quantum wells was made. Wavelength and intensity distribution heatmaps of experimental samples with different AlGaAs composition were measured. Mapping made it possible to estimate the composition and thickness distribution homogeneity over the surface of epitaxial layers in different samples. Results of this research are suitable for improvement of entrance and interoperational control.

Ключевые фразы: спектр фотолюминесценции, квантовая яма, многослойная структура, algaas, энергетические уровни, тепловая карта поверхности
Автор (ы): Юскаев Марат Ринатович, Пашкеев Дмитрий Александрович, Гончаров Валерий Евгеньевич, Никонов Антон Викторович, Егоров Александр Васильевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.384.3. Инфракрасная техника
eLIBRARY ID
34860378
Для цитирования:
ЮСКАЕВ М. Р., ПАШКЕЕВ Д. А., ГОНЧАРОВ В. Е., НИКОНОВ А. В., ЕГОРОВ А. В. АНАЛИЗ СПЕКТРОВ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ГЕТЕРОСТРУКТУР С КВАНТОВЫМИ ЯМАМИ НА ОСНОВЕ ALGAAS/GAAS // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №2
Текстовый фрагмент статьи