Статья: Исследование скорости травления nBp-гетероструктур на основе InGaAs (2018)

Читать онлайн

В статье представлены результаты исследования влияния глубины химического травления на ВАХ элементов в матрицах ФЧЭ коротковолнового ИК-диапазона формата 320256 с шагом 30 мкм, изготовленных на основе гетероэпитаксиальных структур с поглощающим слоем InGaAs. Матрицы ФЧЭ изготовлены по мезапланарной технологии на nB(Al0,48In0,52As)pcтруктурах на подложках InP. На основе проведенных исследований оптимизирован процесс травления мезы на промежуточной операции маршрута изготовления МФЧЭ, что позволяет определить глубину травления, требуемую для получения низких темновых токов и оптимальной ампер-ваттной чувствительности. Изготовлены высокоэффективные матрицы фотодиодов форматов 320256 с шагом 30 мкм и 640512 с шагом 15 мкм с дефектностью, не превышающей 0,5 %.

Consideration is given to the results of chemical etching depth impact on the current-voltage characteristics of the elements in 320256 FPAs with a 30 m pixel pitch based on the heteroepitaxial structures with the absorbing InGaAs layer. The FPAs were made on mesaplanar nB(Al0.48In0.52As)p-structures on the InP substrates. As a result of the research, the process of mesa etching on the interim operation of the FPAs production technology was optimized. It allowed us to define the etching depth required to obtain low dark currents and optimal ampere-watt sensitivity. The high-performance 320256 FPAs had 30 m pixel pitch and 640512 FPAs had 15 m pixel pitch were fabricated. Presence of defects wasn’t exceed 0.5 per cent.

Ключевые фразы: InGaAs, матрица фоточувствительных элементов, МФЧЭ, гетероэпитаксиальные структуры, ГЭС, ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА, вах, темновой ток, ампер-ваттная чувствительность, химическое травление
Автор (ы): Трухачева Наталия Сергеевна, Седнев Михаил Васильевич, Трухачев Антон Владимирович, Макарова Элина Алексеевна, Наумова Ксения Владимировна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315. Передача электрической энергии. Провода и кабели, используемые для передачи энергии и для связи. Проводники. Электроизоляционные материалы. Линейная арматура. Сооружение линий электропередачи
eLIBRARY ID
34860377
Для цитирования:
ТРУХАЧЕВА Н. С., СЕДНЕВ М. В., ТРУХАЧЕВ А. В., МАКАРОВА Э. А., НАУМОВА К. В. ИССЛЕДОВАНИЕ СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ NBP-ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ INGAAS // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №2
Текстовый фрагмент статьи