Проведено исследование электрических характеристик плазмы и ВЧ-индуктора бесферритных индукционных разрядов в лампах длиной 375 мм и шириной 120 мм, образованных замкнутой кварцевой трубкой с внутренним диаметром 16,6 мм. Разряд возбуждался на частоте 1,7 МГц и мощностях 90–170 Вт в смеси паров ртути давлением 710-3 мм рт. ст. с инертным газом (Ar, 30 % Ne + 70 % Ar) давлением 0,7 и 1,0 мм рт. ст. с помощью изготовленной из литцендрата (w = 1,410-4 Ом/см) 3-витковой катушки индуктивности, размещенной по периметру разрядной трубки. Установлено, что с увеличением мощности плазмы ВЧ-напряжение и ток катушки, мощность потерь в ней и средняя по сечению трубки напряженность электрического ВЧ-поля в плазме уменьшаются, а разрядный ток лампы возрастает. Понижение давления инертного газа уменьшает разрядный ток лампы и повышает ВЧ-напряжение и ток катушки, мощность потерь в ней и напряженность электрического поля в плазме.
Electrical characteristics of RF inductors and plasmas of ferrite-free inductively-coupled low mercury pressure discharges excited in closed-loop lamps of 375 mm in length and 120 mm in width made from quartz tube of 16.6 mm inner diameter were experimentally studied. Discharges were excited at a frequency of 1.7 MHz and at plasma RF powers of 90–170 W in the mixture of mercury vapor (710-3 Torr) and inert gas (Ar, 30 % Ne + 70 % Ar) at pressures of 0.7 and 1.0 Torr. The 3-turn induction coil made from Litz wire (w = 1.410-4 Оhm/сm) was disposed along the closed-loop lamp outer perimeter. It was experimentally found that coil power losses and RF coil current and voltage decreased as plasma power increased. The calculations have shown that plasma RF electric field decreased and lamp discharge current increased as plasma power grew. The decrease of gas pressure caused the decrease of lamp discharge current and the increase of coil power losses, RF coil current and voltage, and plasma RF electric field.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 41252111
