Представлены результаты исследования влияния технологических режимов ионноплазменного напыления на микроструктуру и эмиссионные свойства молекулярнонапыленных оксидных катодов (МНОК) малошумящих СВЧ-приборов. Методами сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) с энергодисперсионной приставкой и атомно-силовой микроскопии (АСМ) исследована морфология поверхности, внутренняя структура, а также элементный анализ эмиссионных покрытий (М-покрытий). Показана зависимость эмиссионных свойств МНОК от условий осаждения покрытий. Плотность М-покрытия и размер зерен возрастают с уменьшением давления рабочего газа, а шероховатость уменьшается.
The results of the study technological regimes effect of ion-plasma deposition on the microstructure and emission properties molecular sputter-deposited oxide cathodes of lownoise microwave devices are presented. Surface morphology and internal structure as well as elemental analysis of emission coatings (M-coatings) were studied by scanning electron microscopy (SEM) equipped with EDX detector and by atomic force microscopy (AFM). The correlation of emission properties and the deposition conditions of cathodes are presented. It was shown that density of M-coating and the grain size increase, but the roughness decreases with decreasing gas pressure.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 41252120