Рассмотрены варианты конструктивного исполнения n-канального полевого транзистора с управляющим p–n-переходом, интегрируемого в высоковольтный комплементарный биполярный технологический процесс с изоляцией обратносмещенным p–n-переходом. Сформулированы критерии отбора моделей транзисторов по электрическим параметрам. С учетом критериев проведено приборно-технологическое моделирование на подложках объемного кремния. На основе полученных результатов проведен сравнительный анализ nканального и ранее разрабо-танного р-канального полевых транзисторов. Для оценки адекватности модели транзистора проведен ряд измерений статических параметров экспериментальных образцов, в т. ч. в экстремальном диапазоне температур, изготовленных по рассчитанному технологическому маршруту. На основе полученных данных выбран наиболее оптимальный вариант по соотношению статических и динамических параметров.
Для цитирования:
ДЮКАНОВ П. А. ИНТЕГРАЦИЯ ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА С УПРАВЛЯЮЩИМ P–N-ПЕРЕХОДОМ В БИПОЛЯРНЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС. ОБЪЕМНЫЙ КРЕМНИЙ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2024. ТОМ 12 № 4 10. Выпуск: № 1 (22)
