Прецизионное полирование обратной стороны пластин Si диаметром 100 мм с изготовленными на них оптоэлектронными фоточувствительными элементами (2024)

Приведено исследование перспективного метода прецизионной обработки пластин монокристаллического кремния, который помогает решить проблему дефектообразования при создании контактного слоя Cr-Au ввиду недостаточно малой шероховатости поверхности.

Тип: Статья
Автор (ы): Трофимов Александр

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.315.592. Полупроводники