Статья: Структура и свойства тонких пленок оксида индий-олово, полученных методом реактивного магнетронного распыления (2020)

Читать онлайн

Исследованы электрофизические характеристики наноразмерных пленок оксида индий-олово (ITO), полученных методом реактивного магнетронного распыления мишени In/Sn в кислородосодержащей среде. Приведены результаты исследования изменения электропроводности пленок ITO в широком интервале температур и частот. Определены значения концентрации основных носителей заряда, их подвижности и положение уровня Ферми. Исследованы оптические свойства пленок в широком диапазоне длин волн.

The article presents the research of the electrophysical characterictics of nanosized films of indium-tin oxide (ITO) obtained by reactive magnetron sputtering. The results of the research of the changes of ITO films conductivity in a wide range of temperatures and frequencies are presented. The charge-carrier concentration, mobility and Fermi edge position are counted. Optical properties of films in a wide range of wavelengths are investigated.

Ключевые фразы: прозрачный электропроводящий контакт, пленки ito, электрофизические свойства пленок ito, transparent conductive contact, ito films, electrophysical properties of ito
Автор (ы): Жидик Юрий
Соавтор (ы): Иванова Анна, Жидик Екатерина Вячеславовна, Петрюк Алёна Евгеньевна
Журнал: Прикладная физика

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.231. механическим путем, например напылением
eLIBRARY ID
43064332
Для цитирования:
ЖИДИК Ю., ИВАНОВА А., ЖИДИК Е. В., ПЕТРЮК А. Е. СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ИНДИЙ-ОЛОВО, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. №2
Текстовый фрагмент статьи