Архив статей журнала

Структура и свойства тонких пленок оксида индий-олово, полученных методом реактивного магнетронного распыления (2020)
Выпуск: №2 (2020)
Авторы: Жидик Юрий, Иванова Анна, Жидик Екатерина Вячеславовна, Петрюк Алёна Евгеньевна

Исследованы электрофизические характеристики наноразмерных пленок оксида индий-олово (ITO), полученных методом реактивного магнетронного распыления мишени In/Sn в кислородосодержащей среде. Приведены результаты исследования изменения электропроводности пленок ITO в широком интервале температур и частот. Определены значения концентрации основных носителей заряда, их подвижности и положение уровня Ферми. Исследованы оптические свойства пленок в широком диапазоне длин волн.

Сохранить в закладках