Статья: Способ утонения обратной стороны матричного модуля InSb (100) и его влияние на кристаллическую структуру приповерхностных слоев (2020)

Читать онлайн

Проведено сравнение двух способов утонения обратной стороны матричного модуля антимонида индия (100) с применением абразивной и безабразивной шлифовки различными аналитическими методами. Показано, что включение дополнительного этапа механической шлифовки позволяет добиться существенного улучшения геометрии матричного модуля после финишной полировки в сравнении с безабразивной обработкой. Среднеарифметическое значение шероховатости поверхности после проведения всех этапов обработки не превышает допустимых значений. С помощью построения карт обратного пространства оценена степень влияния различных способов обработки на кристаллическую структуру материала.

Two methods of back thinning of InSb (100) FPA using abrasive and non-abrasive polishing are compared by various analytical methods. It is shown that an extra stage of mechanical grinding allows to achieve a significant improvement in the geometry of the FPA after finishing polishing in comparison with non-abrasive technique. Finish value the arithmetical mean height does not exceed the permissible values. The degree of influence of various processing methods on the crystal structure of the material is estimated by the reciprocal space maps.

Ключевые фразы: утонение, полировка, шлифовка, хдп, хмп, рентгеновская дифрактометрия, атомно-силовая микроскопия, ОПТИЧЕСКАЯ МИКРОСКОПИЯ, средневолновой ик-диапазон спектра, InSb, thinning, polishing, grinding, cmp, x-ray diffractometry, atomic force microscopy, optical microscopy, mid-wave ir spectral range
Автор (ы): Мирофянченко Андрей
Соавтор (ы): Попов Виктор
Журнал: Прикладная физика

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592.3. Легированные полупроводники
621.383.522. Фотодиоды с p-n-переходом
eLIBRARY ID
43064330
Для цитирования:
МИРОФЯНЧЕНКО А., ПОПОВ В. СПОСОБ УТОНЕНИЯ ОБРАТНОЙ СТОРОНЫ МАТРИЧНОГО МОДУЛЯ INSB (100) И ЕГО ВЛИЯНИЕ НА КРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ СТРУКТУРУ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. №2
Текстовый фрагмент статьи