Рассмотрен синтез покрытий TiN на сплаве Т15К6 в парах Cu на основе газоразрядных процессов вакуумно-дугового испарения Ti в азотсодержащей плазме и магнетронного ионно-плазменного распыления Cu. Определены технологические параметры синтеза композитных покрытий TiN-Cu: ток дугового разряда 90 А, ток и напряжение горения магнетронного разряда, соответственно, 0,5 А и 400 В, давление смеси газов в вакуум-ной камере 2,4 Па, температура ростовой поверхности 473 К, время синтеза 15 мин, время очистки ростовой поверхности подложки 10 мин, напряжение смещения 160 В. Рентгеноспектральный микроанализ структуры подтверждает содержание меди 5,57 ат.% в исследуемых покрытиях по всему профилю покрытий. Микотвердость покрытий составляет 38–42 ГПa.
The synthesis of TiN coatings in Cu vapor on T15K6 alloy based on gas-discharge processes of vacuum-arc evaporation of Ti in nitrogen-containing plasma and magnetron ion-plasma sputtering of Cu is considered. The technological parameters of the synthesis of TiN-Cu com-posite coatings are determined: arc discharge current of 90 A, current and voltage of the magnetron discharge, respectively, 0.5 A and 400 V, gas mixture pressure in the vacuum chamber of 2.4 Pa, growth surface temperature of 473 K, synthesis time of 15 min, cleaning time of the substrate growth surface of 10 min, bias voltage of 160 V. X-ray spectral microa-nalysis of the structure confirms the copper content of 5.57 at.% in the studied coatings over the entire coating profile. The microhardness of the coatings is 38–42 GPa.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/1996-0948-2025-2-97-102