Рассмотрены конструктивные принципы создания загрузочных устройств для группового формирования контактных площадок на малоформатных монокриксталлических растрах, используемых для монтажа и разварки выводов матричного модуля в вакуумном криогенном корпусе ИК фотоприемных устройств. Представлены этапы создания загрузочного устройства, параметры полученных контактных площадок, сформированных магнетронным напылением, конструктивные параметры загрузочного устройства. Экспериментально показано влияние маски и
конструкции загрузочного устройства на геометрические размеры металлизации контактных площадок малоформатных монокристаллических растров
The article considers the design principles of creating loading devices for group formation of contact pads on small-format monocrystalline rasters used for mounting and welding of atrix module leads in a vacuum cryogenic case of IR photodetectors. The stages of creating a loading device, the parameters of the obtained contact pads formed by magnetron sputtering, and the design parameters of the loading device are presented. The effect of the mask and the design of the loading device on the geometric dimensions of the metallization of the contact pads of small-format monocrystalline rasters is experimentally shown.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2025-13-1-63-69