Экспериментально исследовано влияние линзовой и зеркальной оптических схем канала подсвета оптико-электронной системы измерения параметров шероховатости ангстремного уровня оптических поверхностей на эволюцию поляризационных характеристик лазерного излучения, формируемого до оптической поверхности исследования. Представлены общие теоретические положения метода дифференциального рассеяния, лежащего в основе принципа измерения параметров шероховатости на основе регистрации рассеянного (дифрагированного) лазерного излучения, имеющего линейное состояние поляризации. Дана теоретическая оценка влиянию эволюции состояния поляризации лазерного излучения, прошедшего линзовую и зеркальную оптические системы, рассеянного оптической поверхностью на погрешность измерения эффективного среднеквадратического отклонения параметров шероховатости ангстремного уровня. В результате сравнительного анализа влияния двух оптических схем на эволюцию исходных параметров состояния поляризации лазерного излучения: коэффициента эллиптичности, угла азимута (угла поворота большой оси эллипса поляризации), деполяризации лазерного излучения, модуля фазовой анизотропии, сделаны рекомендации о целесообразности применения линзовой оптической системы в канале подсвета.
The influence of lens and mirror optical schemes of the illumination channel of an optoe-lectronic system for measuring the roughness parameters of the angstrom level of optical surfaces on the evolution of the polarization characteristics of laser radiation generated up to the optical surface of the study has been investigated and experimentally analyzed.
The general theoretical provisions of the differential scattering method, which underlies the principle of measuring roughness parameters based on the registration of scattered (diffracted) laser radiation having a linear polarization state, are presented. A theoretical assessment is given of the influence of the evolution of the polarization state of laser radiation that has passed through the lens and mirror optical systems, scattered by the optical surface, on the measurement error of the effective RMS deviation of the angle-level roughness parameters. As a result of the presented comparative analysis of the influence of two optical schemes on the evolution of the initial parameters of the polarization state of laser radiation: the ellipticity coefficient, the azimuth angle (the angle of rotation of the major axis of the polarization ellipse), depolarization of laser radiation, and the modulus of phase anisotropy, recommendations are made on the expediency of using a lens optical system in the illumination channel.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2025-13-1-3-20
