Об импедансе высокочастотного емкостного разряда при различных способах возбуждения (2021)

Рассмотрена задача о емкостном ВЧ-разряде низкого давления ( << ) с электродами большой площади при возбуждении его электромагнитным полем частотой от 13 до 900 МГц. Получены общие аналитические формулы для амплитуд собственных волн и импеданса разряда. Учтено, что возбуждение поверхностных волн и высших нераспространяющихся мод происходит как благодаря осевой неоднородности структуры «плазма-слой-металл», так и за счет краевых эффектов у среза электрода. Более высокая амплитуда резонансных мод в сравнении с возбуждением разряда ТЕМ-волной в данном случае приводит к бо́льшей изрезанности зависимости импеданса разряда от плотности электронов. Данный вывод подтвержден прямым расчетом импеданса с помощью программы Comsol Multiphysics®.

Consideration is given to a low-pressure ( << ) capacitive high-frequency discharge with large-area electrodes when it is excited by an electromagnetic field with a frequency from 13 to 900 MHz. General analytical formulas are obtained for the amplitudes of natural waves and the impedance of the discharge. It is taken into account that the excitation of surface waves and higher nonpropagating modes occurs both due to the axial inhomogeneity of the plasma-metal layer structure and due to edge effects at the electrode cut. The higher amplitude of the resonance modes in this case (in comparison with the excitation of the discharge by a TEM wave) leads to a greater irregularity in the dependence of the discharge impedance on the elec-tron density. This conclusion is confirmed by the direct calculation of impedance using the Comsol Multiphysics® software.

Тип: Статья
Автор (ы): Двинин Сергей Александрович
Соавтор (ы): Синкевич Олег Арсеньевич, Кодирзода Заъфари Абдуламин, Солихов Давлат Куватович

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9. Физика плазмы
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-3-33-38
eLIBRARY ID
46342893
Текстовый фрагмент статьи