Особенности процессов в СВЧ-разряде в парах воды (2021)

Проведено нульмерное стационарное моделирование СВЧ-разряда в парах воды при атмосферном и пониженном давлениях и постоянной температуре газа. Использовалась модель реактора непрерывного перемешивания. Проведено совместное решение уравнений баланса для нейтральных и заряженных компонент плазмы, уравнения Больцмана для электронов плазмы и уравнения для стационарного распределения СВЧ-поля в объеме, заполненном плазмой. Получены зависимости различных пара-метров разряда (величины СВЧ-поля, концентраций всех компонент) от вложенной удельной мощности WV. Показано, что при пониженном давлении при одной и той же вложенной удельной мощности величина СВЧ-поля в плазме существенно меньше, а концентрация электронов выше, чем при атмосферном давлении. При атмосферном давлении в интервале рассмотренных значений WV плазма воды электроотрицательна, причем квазинейтральность поддерживается отрицательным ионом OH-.

При давлении 30 Торр и вложенной удельной мощности 60–70 кВт/см3 происходит пе-реход от электроотрицательной к электроположительной плазме.

A zero-dimensional steady-state simulation of microwave discharge in water vapor at atmospheric and reduced pressures and a constant gas temperature has been carried out. A model of a continuous stirring reactor is used. A joint solution of the balance equations for neutral and charged plasma components, the Boltzmann equation for plasma electrons, and the equation for the stationary distribution of the microwave field in a volume filled with plasma is carried out. The dependences of various parameters of the discharge (the magnitude of the microwave field, the concentrations of all components) on the input specific power WV are obtained. It is shown that at reduced pressure the magnitude of the microwave field in the plasma is significantly lower, and the electron concentration is higher than at atmospheric pressure at the same applied specific power. At atmospheric pressure the water plasma is electronegative, and quasi-neutrality is maintained by the negative OH- ion in the range of the considered WV values. Transition from electronegative to electropositive plasma occurs at pressure of 30 Torr and ap-plied specific power of 60–70 kW/cm3.

Тип: Статья
Автор (ы): Лебедев Юрий Анатольевич
Соавтор (ы): Эпштейн Ирина Львовна, Титов Александр, Татаринов Алексей Викторович

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.924. Взаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-3-5-10
eLIBRARY ID
46342889
Текстовый фрагмент статьи