В работе представлены результаты расчетного конструирования антиотражающих покрытий на поверхности антимонида индия и их практической реализации с использованием пленкообразующих материалов ZnS, YF3, Si и SiO2, осажденных методами магнетронного распыления, электронно-лучевого и резистивного испарения, определены показатели преломления используемых пленок. Измерены спектральные характеристики отражения полученных однослойных, двухслойных, трехслойных и более антиотражающих покрытий в средневолновом ИК-диапазоне. Проанализированы возможности минимизации отражения от поверхности антимонида индия в средневолновом ИК-диапазоне спектра.
The paper presents the results of the design of antireflection coatings on the surface of indium antimonies and their practical implementation using film-forming materials ZnS, YF3, Si and SiO2 deposited by magnetron sputtering, electron beam and resistive evaporation. Refractive indices of the films used are determined. The spectral reflection characteristics of the obtained single-layer, two-layer, three-layer and more antireflection coatings in the mid-wave IR range were measured. The possibilities of minimizing the reflection from the surface of indium antimonites in the mid-wave IR spectrum are analyzed.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 42534229
