Архив статей журнала

Исследование магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы (2022)
Выпуск: том 10 № 3 (2022)
Авторы: Федотов Федор Сергеевич, Телегин Алексей

Приведены результаты компьютерного и лабораторного моделирования магнитной распылительной системы (МРС), используемой для физического осаждения пленок в вакууме. Приведены рекомендации по выбору геометрических параметров МРС и значениям магнитного поля.

Сохранить в закладках