Формирование металлодиэлектрических структур с нанометровыми проводящими пленками и исследование их нагрева при воздействии СВЧ-полей (2022)

Приведены результаты экспериментальных исследований и анализ динамики нагрева металлодиэлектрических структур с алюминиевыми проводящими пленками, осажденными методом магнетронного распыления на подложки из стекла, при воздействии мощных СВЧ-полей. Результаты моделирования механизма формирования неоднородной структуры металлизации и возникновения проводимости при росте плёнки подтвердили наблюдаемый температурный экстремум. Полученный максимум нагрева напылённых металлизированных покрытий обусловлен максимальным поглощением электромагнитной волны на усредненных толщинах 5  1 нм, что связано со структурой формирующейся плёнки и соответствующим ей механизмом проводимости.

The paper presents the results of experimental studies and analysis of the heating dynamics of metal-dielectric structures with aluminum conducting films deposited by magnetron sputtering on glass substrates exposed to powerful microwave fields. The results of modeling the mecha-nism of formation of inhomogeneous metallization structure and the appearance of conductivity in growing film confirmed the observed temperature extremum. That extremum is due to a maximum absorption of electromagnetic waves at approximate thickness of 5 nm, which is as-sociated with the structure of the growing film and its corresponding mechanism of conductivity.

Тип: Статья
Автор (ы): Григорьев Е. В.
Соавтор (ы): Арсеничев Сергей Павлович, Старосек Александр Викторович, Фитаев Ибраим Шевкетович, Болдырев Николай Алексеевич

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.874. Явления, возникающие при распространении электромагнитных волн
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2022-4-64-69
eLIBRARY ID
49424563
Текстовый фрагмент статьи