Структура и свойства тонких пленок оксида индий-олово, полученных методом реактивного магнетронного распыления (2020)
Исследованы электрофизические характеристики наноразмерных пленок оксида индий-олово (ITO), полученных методом реактивного магнетронного распыления мишени In/Sn в кислородосодержащей среде. Приведены результаты исследования изменения электропроводности пленок ITO в широком интервале температур и частот. Определены значения концентрации основных носителей заряда, их подвижности и положение уровня Ферми. Исследованы оптические свойства пленок в широком диапазоне длин волн.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№2 (2020)