Публикации автора

Представлены результаты экспериментального исследования распада плазмы наносекундного СВЧ-разряда в диапазоне давлений воздуха Р - 4–60 торр. Установлено, что распад плазмы протекает в две стадии (быстрая и медленная) и при высоких давлениях на обоих этапах соответствует прилипательному распаду с различной эффективной частотой прилипания. На основании полученных результатов приведены оценки эффективности разрушения фреонов в атмосфере с помощью свободно локализованного СВЧ-разряда

В работе представлены результаты исследования сверхвысокочастотного (СВЧ) разряда, создаваемого непрерывным излучением гиротрона с частотой 30 ГГц в смеси аргона и водорода с добавкой метана в области пересечения двух волновых пучков. Разряд поддерживался над подложкой и имел форму тонкого плазменного слоя. Методами оптической спектроскопии излучения проведены измерения температуры газа и концентрации электронов в плазме. Обсуждены особенности определения штарковского уширения спектральных линий атомарного водорода при невысокой (порядка 1013 см-3) концентрации электронов. Представлены зависимости концентрации электронов и температуры газа от давления и состава газа, а также мощности падающего СВЧ излучения. Отмечены перспективы применения исследуемого разряда для плазмохимического осаждения алмазных плёнок из газовой фазы.