ИССЛЕДОВАНИЕ НЕПРЕРЫВНОГО СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В ДВУХ ПЕРЕСЕКАЮЩИХСЯ ВОЛНОВЫХ ПУЧКАХ МИЛЛИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА ДЛИН ВОЛН (2014)

В работе представлены результаты исследования сверхвысокочастотного (СВЧ) разряда, создаваемого непрерывным излучением гиротрона с частотой 30 ГГц в смеси аргона и водорода с добавкой метана в области пересечения двух волновых пучков. Разряд поддерживался над подложкой и имел форму тонкого плазменного слоя. Методами оптической спектроскопии излучения проведены измерения температуры газа и концентрации электронов в плазме. Обсуждены особенности определения штарковского уширения спектральных линий атомарного водорода при невысокой (порядка 1013 см-3) концентрации электронов. Представлены зависимости концентрации электронов и температуры газа от давления и состава газа, а также мощности падающего СВЧ излучения. Отмечены перспективы применения исследуемого разряда для плазмохимического осаждения алмазных плёнок из газовой фазы.

Тип: Статья
Автор (ы): Вихарев Анатолий Леонтьевич
Соавтор (ы): Горбачев Алексей Михайлович, Козлов Александр Вадимович, Радищев Дмитрий Борисович, Чернов Валерий Валерьевич

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.525.99. Прочие виды разрядов в газах при пониженном давлении
Текстовый фрагмент статьи