Продольный источник ионов с токовой автокомпенсацией фокусированного ионного пучка (2011)
Показано, что использование баллистической фокусировки в продольном ионном источнике холловского типа позволяет преобразовать форму ионного пучка из “эллипсовидной” в линейную и увеличить плотность тока ионного пучка на обрабатываемой поверхности. Исследовано влияние поперечного магнитного поля источника и краевых эффектов на форму пучка. Разработан плазменный нейтрализатор ионного пучка на основе дополнительного несамостоятельного газового разряда магнетронного типа с использованием эффекта “полого катода”.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№5 (2011)