О накоплении продуктов распыления сегнетоэлектрической мишени в плазме тлеющего высокочастотного разряда (2012)
Обнаружена зона накопления микрочастиц по рассеиванию излучения лазера на парах меди в плазме высокочастотного емкостного разряда при напылении многокомпонентных наноразмерных сегнетоэлектрических пленок, которая находится на границе раздела отрицательного свечения и темного катодного пространства тлеющего разряда. Предполагается, что таковыми частицами являются заряженные продукты распыления сегнетоэлектрической мишени.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№5 (2012)