ПЛАЗМЕННАЯ ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛОКСАНА (1995)
Исследован процесс осаждения плазменно-полимеризованных пленок на основе гексаметилдисилоксана в ВЧ-разряде. Методом лазерной интерферометрии измерены скорости осаждения полимера на различных подложках. Изучены ИК-спектры, элементный состав и гидрофильные свойства получаемых пленок
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3-4 (1995)